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EEPW首頁(yè) >> 主題列表 >> 白光干涉儀

使用白光干涉儀過(guò)程中的疑問(wèn)

  • 1、問(wèn)：測(cè)量到最小尺寸能否達(dá)到12ΜM，或者能夠測(cè)到更小尺寸？答：可以，垂直分辨率是0.1nm，XY分辨率依物鏡而有...
  • 關(guān)鍵字： 白光干涉儀  分辨率  掃瞄器  
共1條 1/1 1

白光干涉儀介紹

　　白光干涉儀SIS系列采用增加相位掃描干涉技術(shù)，是專為準(zhǔn)確測(cè)量表面輪廓、粗糙度、臺(tái)階高度和其他表面參數(shù)而設(shè)計(jì)的微納米測(cè)量系統(tǒng),，為韓國(guó)SAMSUNG全球唯一指定供應(yīng)商，LPL友好俱樂(lè)部成員，清華大學(xué)，臺(tái)灣大學(xué)，首爾大學(xué)友好合作伙伴?！　?、非接觸式測(cè)量：避免物件受損?！　?、三維表面測(cè)量：表面高度測(cè)量范圍為1nm-200μm?！　?、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換?！　?、納米級(jí)分辨率：垂直分 [ 查看詳細(xì) ]

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