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陶氏電子材料推出OPTIVISIONTM 4540 化學機械研磨墊

  • 　　陶氏電子材料 (Dow Electronic Materials)今天推出了 OPTIVISIONTM 4540 化學機械研磨墊，該產品的設計目標是在研磨墊的使用壽命內實現(xiàn)低缺陷率和低擁有成本。這款新研磨墊使用了獨特的聚合物化學組成和細孔結構，以達到使銅阻擋層研磨的缺陷率降至最低，并提供更高的介電層去除率。OPTIVISION? 4540 研磨墊擁有雙孔結構以精確控制研磨，并且在研磨墊使用壽命中提供一致的研磨墊表面。 　　OPTIVISION? 4540 研磨墊可用于使用傳統(tǒng)
  • 關鍵字： 陶氏  研磨墊  OPTIVISION  4540  
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