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離子探針顯微分析的工作原理和構成

  • 離子探針顯微分析離子探針的學名叫作二次離子質(zhì)譜儀(Second Ion Mass Spectroscopy---SIMS),它在功能上與電子 ...
  • 關鍵字: 離子探針  顯微  
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離子探針介紹

  離子探針是用聚焦的一次離子束作為微探針轟擊樣品表面,測射出原子及分子的二次離子,在磁場中按質(zhì)荷比(m/e)分開,可獲得材料微區(qū)質(zhì)譜圖譜及離子圖像,再通過分析計算求得元素的定性和定量信息。離子探針適用于許多不同類型的樣品分析,包括金屬樣品、半導體器件、非導體樣品,如高聚物和玻璃產(chǎn)品等。廣泛應用于金屬、半導體、催化劑、表面、薄膜等領域中以及環(huán)??茖W、空間科學和生物化學等研究部門?! ≈饕ㄋ牟糠? [ 查看詳細 ]

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