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EEPW首頁 >> 主題列表 >> 離子注入

建設高端半導體裝備，SRII賦能新一代集成電路制造

  • 思銳智能攜業(yè)界尖端的離子注入（IMP）和原子層沉積（ALD）技術亮相SEMICON China 2024，持續(xù)建設全球一流的高端半導體制造裝備，廣泛賦能集成電路、第三代半導體等諸多高精尖領域。展會現(xiàn)場精彩瞬間思銳智能離子注入機（IMP）模型根據(jù)SEMI的數(shù)據(jù)，受芯片需求疲軟等影響，2023年全球半導體設備銷售額為1056億美元，同比下降1.9%，而中國大陸地區(qū)半導體設備銷售額同比增長28.3%。中國對成熟節(jié)點技術表現(xiàn)出了強勁的需求和消費能力?？v觀全局，離子注入已成為半導體器件制備中最主要的摻雜方法，是最基
  • 關鍵字： 高端半導體裝備  SRII  集成電路制造  思銳智能  SEMICON China  離子注入  IMP  原子層沉積  ALD  

離子注入技術簡介

  • 離子注入技術介紹：把摻雜劑的原子引入固體中的一種材料改性方法。簡單地說，離子注入的過程，就是在真空系統(tǒng)中，用經(jīng)過加速的，要摻雜的原子的離子照射（注入）固體材料，從而在所選擇的（即被注入的）區(qū)域形成一個
  • 關鍵字： 離子注入  技術簡介    

離子注入機失效檢測新方法

  • 隨著器件線寬和層厚的縮小，離子注入計量設備對硅片上雜質(zhì)分布均勻性進行直接監(jiān)測的能力已經(jīng)開始受到限制。同時，特征尺寸的縮小和參數(shù)性能的要求，使關鍵注入?yún)?shù)的工藝窗口不斷變窄，而離子束電流和硅片尺寸卻在不
  • 關鍵字： 離子注入  方法  失效檢測    

離子注入技術原理

  • 離子注入技術原理離子注入是將離子源產(chǎn)生的離子經(jīng)加速后高速射向材料表面，當離子進入表面，將與固體中 ...
  • 關鍵字： 離子注入  技術原理  

離子注入設備和方法

  • 離子注入設備和方法最簡單的離子注入機（圖2）應包括一個產(chǎn)生離子的離子源和放置待處理物件的靶室。當 ...
  • 關鍵字： 離子注入  設備  方法  
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離子注入介紹

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