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賽斯與意法半導體合作開發(fā)多軸MEMS陀螺儀
- SAES®賽斯吸氣劑集團與意法半導體簽署了一項以促進下一代MEMS陀螺儀的開發(fā)制造活動為宗旨的技術合作協(xié)議。賽斯的PageWafer®是最先進的使片級封裝MEMS產品保持高真空的吸氣劑薄膜解決方案,為提高產品的靈敏度和穩(wěn)定性,意法半導體將在該公司的微機電系統(tǒng)芯片內集成這項先進技術。 利用硅獨特的電氣性質和出色的金屬特性,含有MEMS的集成電路正在給半導體行業(yè)帶來一場巨大變革。雖然硅的電氣特性是半導體行業(yè)四五十年發(fā)展的產業(yè)基礎,但是挖掘硅的機械特性相對來說還是一個較新的現象,比
- 關鍵字: 單片機 多軸MEMS陀螺儀 嵌入式系統(tǒng) 賽斯 意法半導體
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