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我國“超級針”X射線成像系統(tǒng)成功實現(xiàn)自主研制
- 近日,中國電科38所發(fā)布自主研制的新一代無損檢測設(shè)備——“超級針”X射線成像系統(tǒng),這是全國首臺“超級針”X射線成像系統(tǒng)。該系統(tǒng)擁有“火眼金睛”般的缺陷檢測能力,成像分辨率小于1微米?! ‰S著集成電路向高集成度、微型化方向發(fā)展,先進封裝工藝對封裝檢測設(shè)備提出新的需求和挑戰(zhàn)。一方面,更精細的封裝尺度要求設(shè)備分辨率提升至亞微米級,但目前國際上可生產(chǎn)亞微米級分辨率設(shè)備的廠商屈指可數(shù);另一方面,隨著芯片制造及封裝過程中越來越多地使用硅、鋁、銅、陶瓷等輕元素材料,對輕元素材料的檢測需求日益凸顯,對設(shè)備檢測范圍提出
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