驅(qū)動電壓 文章 進(jìn)入驅(qū)動電壓技術(shù)社區(qū)
低驅(qū)動電壓RF MEMS懸臂梁開關(guān)的對比研究*
- 歐書俊,張國俊,王姝婭,戴麗萍,鐘志親(電子科技大學(xué) 電子薄膜與集成器件國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,四川 成都 611731) 摘 要:本文針對一字型懸臂梁RF MEMS開關(guān),提出了兩種降低驅(qū)動電壓RF MEMS開關(guān)的方法,分別為:增大局部驅(qū)動面積和降低彈性系數(shù)。根據(jù)這兩種方法設(shè)計(jì)了4種形狀的懸臂梁開關(guān),分別為增大局部驅(qū)動面積的十字型梁,降低彈性系數(shù)的三叉戟型、蟹鉗型和折疊型梁。在梁的長度、厚度和初始間隙等參數(shù)一致的情況下,通過CMOSOL軟件建模仿真得到了這4種懸臂梁的驅(qū)動電壓,分別為7.2 V、5.6 V、
- 關(guān)鍵字: 202007 RF MEMS 懸臂梁 驅(qū)動電壓 彈性系數(shù)
51單片機(jī)驅(qū)動步進(jìn)電機(jī)的方法
- 在這里介紹一下用51單片機(jī)驅(qū)動步進(jìn)電機(jī)的方法?! ∵@款步進(jìn)電機(jī)的驅(qū)動電壓12V,步進(jìn)角為 7.5度 . 一圈 ...
- 關(guān)鍵字: 51單片機(jī) 步進(jìn)電機(jī) 驅(qū)動電壓
低壓驅(qū)動的RF MEMS開關(guān)模擬設(shè)計(jì)
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- 關(guān)鍵字: RFMEMS開關(guān) 驅(qū)動電壓 開關(guān)時(shí)間 楊氏模量 PECVD
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驅(qū)動電壓介紹
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