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ASMI高k設備向臺灣代工廠出貨 TEL購買ASMI股份

  •   ASM International透露其競爭對手Tokyo Electron Ltd.已收購了其4.9%的股份。   ASMI還宣布某家臺灣代工廠已選擇了ASMI的Pulsar原子層淀積(ALD)設備,用于28nm節(jié)點高k柵介質(zhì)工藝的量產(chǎn)。   業(yè)界猜測該代工廠是臺積電。臺積電正在開發(fā)28nm高k金屬柵工藝,但該公司拒絕對細節(jié)進行評論。其競爭對手聯(lián)電也在開發(fā)28nm高k工藝。
  • 關鍵字: 臺積電  高k  

IBM集團推出28nm工藝技術 采用高k金屬柵

  •   盡管IC市場低迷,但硅代工市場正在回暖,IBM的“晶圓廠俱樂部(fab club)”近日正式推出基于高k金屬柵的28nm工藝。   該28nm技術正在認證中,是由IBM合作平臺的成員聯(lián)合開發(fā),包括IBM、特許、GlobalFoundries、英飛凌、三星和意法。   據(jù)悉,倍受期待的28nm工藝可從現(xiàn)有的32nm工藝無縫轉(zhuǎn)移。該集團的32nm技術在去年發(fā)布,基于面向低功耗等應用的“柵優(yōu)先(gate-first)”高k和金屬柵技術。   該集團的32
  • 關鍵字: IBM  金屬柵  高k  IC  
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