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使用6485型皮安表和6487型皮安表/電壓源測量離子束

  • 離子束用于各種應用場合，諸如，質(zhì)譜儀和離子注入機等。離子束電流通常非常小(mu;A)，所以需要使用靜電計或皮安表來進行測量。本文介紹了如何使用6485型皮安表和6487型皮安表/電壓源來進行這種測量工作。在電流靈敏
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