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三星旗下Semes成功開發(fā)出一種ArF-i光刻涂膠/顯影設備

  • 6月24日，三星電子旗下的韓國半導體和顯示器制造設備公司表示，第一臺名為“Omega Prime”的設備已于去年供貨，Semes正在制造第二臺設備。Semes表示，在Omega Prime設備上應用了噴嘴、烘烤溫度和機器人位置自動調整系統(tǒng)，以消除涂布層的偏差。目前，Semes已制造出KrF光刻涂膠/顯影設備，并在此基礎上開發(fā)了ArF版本，以支持波長更短的新型光刻機。
  • 關鍵字： 三星  Semes  ArF-i  光刻涂膠  顯影設備  

傳日本光刻膠大廠JSR將在韓國建立ArF產(chǎn)線

  • 韓媒報道，全球第一光刻膠大廠日本JSR計劃將在韓國青州建立一條生產(chǎn)用于ArF的光刻膠產(chǎn)線，用于供貨
  • 關鍵字： 日本  JSR  ArF  
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