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巴斯夫拓展與IMEC為半導體行業(yè)開發(fā)工藝化學品

• 　　巴斯夫與歐洲領先的獨立納米技術研究機構比利時弗拉芒校際微電子研究中心(IMEC)今天宣布繼續(xù)拓展聯(lián)合研發(fā)項目。作為進一步合作的領域之一，雙方計劃研發(fā)工藝化學品，這將提高半導體生產(chǎn)中的清洗化學品的性能。研究工作的另一個重點是降低生產(chǎn)工藝復雜性及減少生產(chǎn)步驟。 　　聯(lián)合研發(fā)下一階段將專注于選擇性清洗技術，這一技術將推動以22納米技術為基礎的新一代芯片的開發(fā)。這些解決方案將用于集成電路生產(chǎn)的第一個部分，即“前段制程”(FEOL)，此時個別組件(如晶體管)將被固定在半導體上。重要的是
• 關鍵字： IMEC  22納米  FEOL  BEOL