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Cymer發(fā)布EUV光源技術(shù)路線圖

  • 　　光源對于光刻機(jī)的重要性不言而喻，沒有光源的匹配，一切圖形成像都無從談起。從1986年開始，Cymer正式進(jìn)入半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，目前已有超過3500套光源安裝在世界各地的光刻設(shè)備上。Cymer所占的市場份額已近70%，儼然已成為世界光源制造領(lǐng)域的領(lǐng)頭羊。 　
  • 關(guān)鍵字： Cymer  EUV光源  OLED  

中國32nm技術(shù)腳步漸近

  • 　　32nm離我們還有多遠(yuǎn)?技術(shù)難點該如何突破?材料與設(shè)備要扮演何種角色?10月28日于北京舉辦的先進(jìn)半導(dǎo)體技術(shù)研討會即圍繞“32nm技術(shù)發(fā)展與挑戰(zhàn)”這一主題進(jìn)行了探討。 　　32nm節(jié)點挑戰(zhàn)無限 　　“45nm已進(jìn)入量產(chǎn)，32nm甚至更小的22nm所面臨的挑戰(zhàn)已擺在我們面前。”中芯國際資深研發(fā)副總裁季明華博士在主題演講時說，“總體來說，有四個方面值得我們注意。首先是CMOS邏輯器件如何與存儲器件更還的集成在一起;其次是SOC技術(shù)的巨大挑戰(zhàn)，
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設(shè)備市場獲改善 Cymer、KLA-Tencor調(diào)升預(yù)測

  • 　　晶圓設(shè)備市場正在得到改善。 　　Cymer和KLA-Tencor分別調(diào)升了各自的預(yù)期。周一，光源供應(yīng)商Cymer稱目前公司預(yù)計第三季度收入將較第二季度的6200萬美元增長30%。新光刻技術(shù)光源需求獲得了增長。 　　據(jù)悉，該公司此前的預(yù)期是第三季度收入增長15%。 　　上周，KLA-Tencor同樣也調(diào)升了預(yù)期。“我們繼續(xù)看好第三季度的增長，主要受代工廠和存儲芯片商的帶動，亮場檢測使用的越來越多。”分析師指出。
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