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EEPW首頁 >> 主題列表 >> euv光源

Gigaphoton將LPP EUV光源輸出端最大等效功率提升至20W級別

  • 　　Gigaphoton公司18日宣布已經(jīng)成功將LPP EUV光源產(chǎn)品的輸出端等效最大功率推進(jìn)到了20W水平。該公司達(dá)成這個(gè)目標(biāo)所使用的方法是，使用固態(tài)預(yù)脈沖激光器，100khz頻率的CO2激光來轟擊錫靶標(biāo)。采用這種方法，該公司在光源運(yùn)行過程中達(dá)成了平均 10W水平的輸出功率。由于目前普遍認(rèn)可的預(yù)生產(chǎn)型商用EUV光源輸出功率級別正好在10W左右，因此Gigaphoton公司此次的成果標(biāo)志著預(yù)生產(chǎn)極 EUV光源發(fā)展過程中的一個(gè)新里程碑。 　　 ? ? 　　Gigaphoton公司
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EUV光源廠商散伙

  • 　　日本的Komatsu和Ushio稍早前宣布，已終止有關(guān)光源合資企業(yè)Gigaphoton的合作協(xié)議。Komatsu將從Ushio手中買下50%股權(quán)。未來Gigaphoton將成為Komatsu的全資子公司。而此舉會為EUV的未來投下何種變數(shù)仍有待觀察。 　　
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EUV光源廠商Ushio從Gigaphoton撤資

  • 　　日本小松公司(Komatsu)與Ushio公司近日決定終止兩家公司有關(guān)EUV光刻機(jī)光源合資廠商Gigaphoton項(xiàng)目的合資合同。小松將從Ushio公司手中收購Gigaphoton余下的50%股份，這樣Gigaphoton將成為小松的獨(dú)資公司。 　　　
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Cymer發(fā)布EUV光源技術(shù)路線圖

  • 　　光源對于光刻機(jī)的重要性不言而喻，沒有光源的匹配，一切圖形成像都無從談起。從1986年開始，Cymer正式進(jìn)入半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，目前已有超過3500套光源安裝在世界各地的光刻設(shè)備上。Cymer所占的市場份額已近70%，儼然已成為世界光源制造領(lǐng)域的領(lǐng)頭羊。 　
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euv光源介紹

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