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未來展望——FSI 和BSI 圖像傳感器技術

  • 過去30年中，聚光技術和半導體制造工藝的創(chuàng)新對圖像傳感器像素技術產生了重大影響。例如，最初便攜式攝像機采用...
  • 關鍵字： FSI  BSI  圖像傳感器  

FSI國際宣布將ViPR?全濕法去除技術擴展到NAND存儲器制造

  • 　　美國明尼阿波利斯(2009年3月24日)——全球領先的半導體制造晶圓加工、清洗和表面處理設備供應商FSI國際有限公司(納斯達克：FSII)今日宣布：一家主要的存儲器制造商將FSI 帶有獨特ViPR?全濕法無灰化清洗技術的ZETA?清洗系統(tǒng)擴展到NAND閃存生產中。許多器件制造商對采用FSI的ZETA ViPR技術在自對準多晶硅化物形成過程所帶來的益處非常了解。該IC制造商就這一機臺在先進的NAND制造中可免除灰化引發(fā)損害的全濕法光刻膠去除能力進行了評估?？蛻?/li>
  • 關鍵字： FSI  NAND  存儲器  

FSI國際宣布將ViPR全濕法去除技術擴展到NAND存儲器制造

  • 　　全球領先的半導體制造晶圓加工、清洗和表面處理設備供應商FSI國際有限公司(納斯達克：FSII)日前宣布：一家主要的存儲器制造商將FSI 帶有獨特ViPR全濕法無灰化清洗技術的ZETA清洗系統(tǒng)擴展到NAND閃存生產中。許多器件制造商對采用FSI的ZETA ViPR技術在自對準多晶硅化物形成過程所帶來的益處非常了解。該IC制造商就這一機臺在先進的NAND制造中可免除灰化引發(fā)損害的全濕法光刻膠去除能力進行了評估?？蛻魧χ圃爝^程中無灰化光刻膠剝離法、實現(xiàn)用一步工藝替代灰化-清洗兩步工藝的機臺能力給予肯定。除了
  • 關鍵字： FSI  半導體  NAND  

客戶充分肯定采用FSI清洗技術可實現(xiàn)成品率提高

  • 　　FSI國際有限公司（納斯達克：FSII）日前宣布，在上月于以色列、意大利、法國和德國舉辦知識服務系列研討會（KSS）上，公司多家客戶的專題報告中肯定了FSI清洗技術在芯片制造中對成品率的提高起到了顯著的作用。包括意法半導體（STMicroelectronics）、Numonyx B.V.、Tower半導體有限公司、奇夢達（Qimonda AG）、CEA Leti在內的FSI客戶，都在其報告中對基于FSI創(chuàng)新型清洗產品的先進工藝進行描述，并提交了多種不同生產應用中的成品率提升數(shù)據(jù)記錄。 　　&ldqu
  • 關鍵字： FSI  清洗技術  芯片  

OMNIVISION 顛覆數(shù)字影像世界 推出OmniBSITM 架構

  • 　　全球最大的 CMOS（互補金屬氧化物半導體）影像傳感器供應商 OmniVision Technologies, Inc. (NASDAQ: OVTI) 今天推出了 OmniBSITM 架構，這種新型傳感器的設計采用了與傳統(tǒng) CMOS 影像傳感器技術截然不同的方法。OmniBSI 采用背面照度 (BSI) 技術，使得 OmniVision 能夠在提供更出色影像質量的同時將其像素尺寸降低到0.9微米，這是數(shù)字影像技術不斷小型化的關鍵。在其長期鑄造和工藝技術合作伙伴臺灣積體電路制造股份有限公司 (Taiwa
  • 關鍵字： OMNIVISION  CMOS  BSI  FSI  

FSI突破硅化物形成步驟中的金屬剝離技術

  • 　　FSI 國際有限公司宣布已成功地采用FSI ViPR™技術在自對準多晶硅化物形成后去除了未反應的金屬薄膜。通過實現(xiàn)這一新的工藝，IC制造商可以在鈷、鎳和鎳鉑硅化物集成過程中，大幅度減少化學品的使用和降低對資金的要求。新訂購的FSI ZETA® Spray Cleaning System噴霧式清洗系統(tǒng)中已經采用了FSI ViPR™技術，并將用于升級最近已經在生產現(xiàn)場安裝的系統(tǒng)。 　　鎳鉑硅化物最早應用于65nm邏輯器件，因為它的阻抗更低，從而可實現(xiàn)器件性能的大幅改善。但
  • 關鍵字： FSI  IC  硅  半導體材料  

FSI國際宣布在硅化物形成步驟中的金屬剝離技術取得突破

  • 　　FSI 國際有限公司宣布已成功地采用FSI ViPR™技術在自對準多晶硅化物形成后去除了未反應的金屬薄膜。通過實現(xiàn)這一新的工藝，IC制造商可以在鈷、鎳和鎳鉑硅化物集成過程中，大幅度減少化學品的使用和降低對資金的要求。新訂購的FSI ZETA® Spray Cleaning System噴霧式清洗系統(tǒng)中已經采用了FSI ViPR™技術，并將用于升級最近已經在生產現(xiàn)場安裝的系統(tǒng)。 　　鎳鉑硅化物最早應用于65nm邏輯器件，因為它的阻抗更低，從而可實現(xiàn)器件性能的大幅改善。但
  • 關鍵字： FSI  硅化物  邏輯器件  嵌入式  

歐洲IC制造商訂購多套ANTARES®超凝態(tài)過冷動力學清洗系統(tǒng)

  • FSI國際有限公司(納斯達克:FSII)今日宣布：一家領先的歐洲集成電路制造商在現(xiàn)場評估項目成功地驗證了缺陷排除之后,已經購買多套ANTARES®CX超凝態(tài)過冷動力學清洗系統(tǒng)。這些系統(tǒng)將用于先進器件平面結構或元件結構的前段(FEOL)和后段(BEOL)中缺陷排除。這批系統(tǒng)的營業(yè)收入預計將記錄在2005財年的前半年。   “由于超強的工藝性能，ANTARES系統(tǒng)正被應用于大批量的制造中，”FSI國際有限公司董事長兼首席執(zhí)行官Don Mitchell說到，“該客戶和其他客戶發(fā)現(xiàn)AN
  • 關鍵字： FSI  
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