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LED芯片生產(chǎn)中的“過(guò)程能力指數(shù)”分析
- 在芯片的生產(chǎn)過(guò)程中,會(huì)經(jīng)歷許多次的摻雜、增層、光刻和熱處理等工藝制程,每一步都必須達(dá)到極其苛刻的物理特性要求。但是,即使是最成熟的工藝制程也存在不同位置之間、不同晶圓之間、不同工藝運(yùn)行之間以及不同時(shí)段之間的...
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