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中國科大在納米機電系統(tǒng)(NEMS)相關研究中取得系列進展

  • 　　中科大郭光燦院士領導的中科院量子信息重點實驗室在基于碳納米管的納米機電系統(tǒng)(NEMS)方面取得系列重要進展。該實驗室固態(tài)量子芯片組郭國平研究組與清華大學姜開利研究組等合作并成功實現(xiàn)了兩個串聯(lián)碳納米管諧振器的強耦合、碳納米管諧振器中兩個模式的強耦合，并利用這種耦合實現(xiàn)了聲子的相干操控，相關成果分別發(fā)表在《納米快報》(Nano Lett. 16， 5456 (2016)，Nano Lett. 17， ASAP (2017))和《納米尺度》(Nanoscale 8， 14809 (2016))上。 　　碳
  • 關鍵字： NEMS  

3-D輪廓測量中相位解包裹應用

  • 在對微/納機電系統(tǒng)(micro/nanoelectrome-chanicalsystem，MEMS/NEMS)結(jié)構(gòu)的特性參數(shù)進行測量和MEMS/NEMS可...
  • 關鍵字： MEMS  NEMS  3-D輪廓  CCD  

MEMS/NEMS表面3-D輪廓測量中基于模板的相位解包裹算法

  • 相位解包裹是使用相移顯微干涉法測量MEMS/NEMS表面3-D輪廓時的重要步驟.本文針對普通的相位解包裹方
    法在復雜輪廓或包含非理想數(shù)據(jù)區(qū)的表面輪廓測量中的局限性,提出一種基于模板的廣度優(yōu)先搜索相位展開方法.通過模板
    的使用,先將非相容區(qū)域標記出來,在相位解包裹的過程中繞過這些區(qū)域,即可得到準確可靠的相位展開結(jié)果.通過具體的應
    用實例可以證明,使用不同模板可以根據(jù)不同應用的需要靈活而準確地實現(xiàn)微納結(jié)構(gòu)表面3-D輪廓測量中的相位展開.
    關鍵詞:MEMS/NEMS;表面
  • 關鍵字： 模板  相位  包裹  算法  基于  測量  表面  3-D  輪廓  MEMS/NEMS  
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