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應(yīng)用材料公司推出全新PECVD系統(tǒng)

  • 　　應(yīng)用材料公司推出全新的Applied AKT-20K PX PECVD 系統(tǒng)，用于制造最先進(jìn)的智能手機(jī)和平板電腦中所采用的高性能有源矩陣OLED和TFT-LCD顯示屏。通過采用LTPS關(guān)鍵技術(shù)，該系統(tǒng)可將高度一致的薄膜沉積至1.95平方米的玻璃板上——該玻璃板是以往標(biāo)準(zhǔn)尺寸的三倍。這將使顯示屏制造商大幅提高產(chǎn)量，降低成本，從而加快消費(fèi)電子產(chǎn)品的屏幕朝更大尺寸、更高精度的方向轉(zhuǎn)變。
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pecvd系統(tǒng)介紹

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