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應(yīng)用散射技術(shù)測試復(fù)雜Spacer結(jié)構(gòu)

  • 長久以來，散射技術(shù)已充分展示其精準(zhǔn)測量簡單結(jié)構(gòu)的能力，例如對淺溝槽隔離結(jié)構(gòu)（STI）和柵極模塊的量測。但是，IC制造商現(xiàn)在需要監(jiān)測和控制越來越復(fù)雜的結(jié)構(gòu)。Spacer是目前散射技術(shù)正在處理的復(fù)雜結(jié)構(gòu)之一。Spacer會
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