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EDWARDS發(fā)布用于LED和化合物半導(dǎo)體制造的新型真空泵

  • 全球領(lǐng)先的高精真空設(shè)備和尾氣處理系統(tǒng)制造商及相應(yīng)增值服務(wù)供應(yīng)商Edwards公司宣布推出新的iXH645H干泵，新設(shè)備經(jīng)過(guò)優(yōu)化，適用于LED制造中使用的MOCVD工藝，以及在柵堆疊(gate stack)中使用III-V材料的化合物半導(dǎo)體制造工藝。
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