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mems開關(guān)介紹

MEMS開關(guān)就是MEMS技術(shù)的具體應(yīng)用。顧名思義,開關(guān)就是來控制電路通斷狀況的，高效、快速反應(yīng)、準(zhǔn)確、重復(fù)使用頻率、高可靠性是現(xiàn)代電路系統(tǒng)對(duì)開關(guān)的特殊要求。MEMS開關(guān)的研究始于1979年IBM的K.E.Peterson，隨后經(jīng)過了二十幾年的發(fā)展，由于薄膜的柔軟和變形，MEMS開關(guān)始終沒有取得人們預(yù)期的成績。隨著通訊頻率的不斷增高，現(xiàn)有的半導(dǎo)體開關(guān)因不能滿足頻率的升高而失去開關(guān)能力。MEMS開關(guān)的 [ 查看詳細(xì) ]

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