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硅基MEMS制造技術(shù)分析

  • 　　上海硅知識產(chǎn)權(quán)交易中心 　　MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)是一種使產(chǎn)品集成化、微型化、智能化的微型機(jī)電系統(tǒng)。在半導(dǎo)體集成電路技術(shù)之上發(fā)展起來的硅基MEMS制造技術(shù)目前使用十分廣泛。 　　
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硅基mems介紹

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