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有機械耦合的電容式硅微陀螺敏感信號讀取

  • 一、前言 硅微機械傳感器是用半導體硅加工工藝實現(xiàn)的傳感器。體積小使其獲得廣泛的應(yīng)用前景。但是由于體積小，微小的絕對機械誤差卻產(chǎn)生較大的相對誤差，帶來運動交互干擾，即機械耦合問題。電容式硅微機械陀
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硅微介紹

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