外延片

　　外延片是指用外延工藝在襯底表面生長薄膜所生片的單晶硅片。一般外延層厚度為2-20微米，作為襯底的單晶硅片厚度為610微米左右。 　　外延工藝：外延生長技術發(fā)展于20世紀50年代末60年代初，為了制造高頻大功率器件，...... [查看詳細]