打入5nm產(chǎn)線！這家國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備商科創(chuàng)板過會，擬募資30億元

作者 |  高歌
編輯 |  Panken
8月30日報道，北京屹唐半導(dǎo)體科技股份有限公司（以下簡稱“屹唐股份”）通過科創(chuàng)板上市委會議。屹唐股份的主營業(yè)務(wù)為干法去膠設(shè)備、快速熱處理設(shè)備和干法刻蝕設(shè)備，其產(chǎn)品可應(yīng)用于邏輯芯片、閃存芯片及DRAM芯片生產(chǎn)。上會稿顯示，屹唐股份的干法去膠設(shè)備、快速熱處理設(shè)備和干法刻蝕設(shè)備最高可應(yīng)用于5nm邏輯芯片、128層3D閃存芯片及1y到2x nm系列DRAM芯片的量產(chǎn)。熱處理、刻蝕和去膠是集成電路生產(chǎn)過程中的三個重要步驟。快速熱處理可以增加光刻膠和基片間的黏附能力，防止顯影時光刻膠圖形的脫落以及濕法腐蝕時產(chǎn)生側(cè)面腐蝕（sideetching）。干法刻蝕主要是指以氣體為主要媒介的刻蝕技術(shù)，可以讓晶圓在干燥的狀態(tài)下進(jìn)出系統(tǒng)，進(jìn)行刻蝕加工。而在刻蝕之后，晶圓已不需要光刻膠作為保護(hù)層，因此可以將光刻膠從硅片表面去除，干法去膠利用等離子體將光刻膠去除，其效果較濕法去膠工藝更好。

屹唐股份總部位于中國，研發(fā)、制造基地分布于中國、美國、德國三地。2016年屹唐股份收購美國半導(dǎo)體設(shè)備廠商Mattson Technology Inc.（MTI），并將其作為境外經(jīng)營主要主體，MTI也是屹唐股份合并報表范圍內(nèi)的主要業(yè)績貢獻(xiàn)主體。根據(jù)市場研究公司Gartner統(tǒng)計，2020年屹唐股份干法去膠設(shè)備、快速熱處理設(shè)備的市場占有率分別位居全球第一、第二。截至上會稿發(fā)布，北京屹唐盛龍半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)投資中心（有限合伙）持有屹唐股份總股本的45.05%，為屹唐股份直接控股股東。亦莊產(chǎn)投和亦莊國投則是間接控股股東，均為國資背景。屹唐股份的實際控制人則為財政審計局。

本次IPO，屹唐股份計劃發(fā)行股份不超過46941萬股，擬募集資金30億元，將分別用于“屹唐半導(dǎo)體集成電路裝備研發(fā)制造服務(wù)中心”、“屹唐半導(dǎo)體高端集成電路裝備研發(fā)”以及“發(fā)展和科技儲備資金”3個項目。

中國境內(nèi)收入比重上升至42%10-28nm產(chǎn)品收入大幅上升

根據(jù)上會稿，屹唐股份2018年-2020年復(fù)合增長率為23.41%，2020年度營業(yè)收入較2019年同比增長46.96%。該公司2018年、2019年、2020年營收分別為15.18億元、15.73億元和23.13億元。凈利潤方面，屹唐股份2019年變化幅度較大，其2018年-2020年凈利潤分別為2395.83萬元、-8813.98萬元和2476.16萬元。2019年屹唐股份凈利潤為負(fù)，呈虧損態(tài)勢。上會稿寫道，該年度屹唐股份的中國區(qū)業(yè)務(wù)團(tuán)隊為了滿足國內(nèi)客戶需求而快速擴(kuò)張，使其各項先行投入開支較大，因此產(chǎn)生了虧損。

上會稿強(qiáng)調(diào)，在報告期內(nèi)，屹唐股份來源于中國境內(nèi)的收入分別為3.21億元、4.94億元和9.74億元，復(fù)合增長率達(dá)74.27%，境內(nèi)收入占總營收比重由21.12%上升至42.12%。如果以產(chǎn)品類型劃分，屹唐股份的營收可分為專用設(shè)備銷售、備品備件、服務(wù)和特許權(quán)使用費(fèi)4種。其中，專用設(shè)備銷售包括干法去膠設(shè)備、快速熱處理設(shè)備和干法刻蝕設(shè)備3種設(shè)備的銷售收入。
2020年，屹唐股份專用設(shè)備銷售金額達(dá)16.93億元，占總營收比例為73.23%，是其主要收入來源。從2018年到2020年，屹唐股份干法去膠設(shè)備銷售占比持續(xù)增長，快速熱處理設(shè)備銷售占比則有所下降，干法刻蝕設(shè)備營收占比為5%左右。

Gartner的數(shù)據(jù)顯示，2018年至2020年間，屹唐股份在干法去膠設(shè)備領(lǐng)域市場份額由12.87%提升至31.29%，市場份額排名由全球第三躍升至全球第一；在快速熱處理設(shè)備領(lǐng)域，屹唐股份的市場份額由11.18%增長至11.50%，為全球第二。值得一提的是，上交所在問詢中，提到了2019年、2020年屹唐股份5nm以內(nèi)產(chǎn)品收入大幅下降、10-28nm產(chǎn)品收入大幅上升的情況。屹唐股份回應(yīng)稱，由于國內(nèi)客戶的設(shè)備制程需求以14-28nm為主，且屹唐股份來自境內(nèi)客戶的收入增加，導(dǎo)致其10-28nm產(chǎn)品收入大幅上升。而5nm制程設(shè)備受頭部廠商采購計劃影響較大，隨著半導(dǎo)體行業(yè)升溫，芯片制造廠商已加大了先進(jìn)制程資本開支。2021年1-6月屹唐股份5nm干法去膠設(shè)備已賣出，獲得了一定收入，具體銷售金額則并未披露。具體到客戶上，雖然屹唐股份并未透露報告期3年中前五大客戶的名稱，僅以客戶“A、B、C、D、E、F、G、H”代稱，但上會稿顯示屹唐股份的代表客戶有臺積電、三星電子、中芯國際、長江存儲、格芯、美光、SK海力士等。

報告期內(nèi)，屹唐股份主要的采購項目較多，主要可分為機(jī)械類、電氣類、機(jī)電一體類、氣體傳輸系統(tǒng)類、真空系統(tǒng)類、傳感器類、氣動系統(tǒng)類、儀器儀表類等。日本電機(jī)、半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商Rorze Corporation在三年內(nèi)一直是屹唐股份的最大供應(yīng)商。

中國制造基地已實現(xiàn)設(shè)備量產(chǎn)、銷售MTI核心技術(shù)人員3人留任

從應(yīng)用領(lǐng)域來看，屹唐股份的干法去膠設(shè)備、快速熱處理設(shè)備、干法刻蝕設(shè)備主要應(yīng)用于邏輯芯片、閃存芯片、DRAM芯片生產(chǎn)。具體來說，屹唐股份干法去膠設(shè)備、快速熱處理設(shè)備主要可用于90nm到5nm邏輯芯片1y到2x nm系列DRAM芯片以及32層到128層3D閃存芯片量產(chǎn)產(chǎn)線；干法刻蝕設(shè)備主要可用于65nm到5nm邏輯芯片、1y到2x nm系列DRAM芯片以及32層到128層3D閃存芯片量產(chǎn)產(chǎn)線。當(dāng)前，屹唐股份在中國的制造基地主要專注于成熟產(chǎn)品的生產(chǎn)及新產(chǎn)品研發(fā)，具備從零部件采購到整機(jī)生產(chǎn)調(diào)試的完整生產(chǎn)能力；美國子公司負(fù)責(zé)等離子體去膠、刻蝕設(shè)備的研發(fā)和制造；德國子公司則主要進(jìn)行快速熱處理設(shè)備的研發(fā)和制造。從整個半導(dǎo)體設(shè)備市場來看，能夠提供干法去膠設(shè)備、快速熱處理設(shè)備或干法刻蝕設(shè)備的外國廠商主要有應(yīng)用材料、東京電子、泛林半導(dǎo)體、斯庫林（前身為迪恩士半導(dǎo)體）、維易科和比思科公司；境內(nèi)設(shè)備廠商主要有北方華創(chuàng)、中微公司、盛美股份、華海清科和芯源微等。相比境內(nèi)競爭對手，屹唐股份是國內(nèi)唯一一家同時具備等離子體和熱處理領(lǐng)先技術(shù)的公司，各產(chǎn)品在細(xì)分領(lǐng)域有著較強(qiáng)的競爭力。

但和國際巨頭相比，屹唐股份的市場占有率、營收規(guī)模均有一定差距，在原材料采購、產(chǎn)品銷售等方面的議價能力、抗風(fēng)險能力有著明顯的劣勢。

雖然屹唐股份2020年快速熱處理設(shè)備市場占有率為11.50%，全球排名第二，但排名第一的應(yīng)用材料市場占有率高達(dá)69.72%，差距較大。

▲2020年全球快速熱處理設(shè)備市場競爭格局（來源：屹唐股份招股書上會稿）

2020年，屹唐股份在干法刻蝕領(lǐng)域市場份額0.1%，為全球第十；泛林半導(dǎo)體、東京電子、應(yīng)用材料三大廠商合計市場份額為90.24%，占據(jù)了絕對優(yōu)勢。

此外，相比應(yīng)用材料、東京電子、泛林半導(dǎo)體等，屹唐股份還在產(chǎn)品線覆蓋廣度上有著較大差距。在收購MTI后，屹唐股份與MTI實施知識產(chǎn)權(quán)共享，促進(jìn)了母、子公司知識產(chǎn)權(quán)與核心技術(shù)的內(nèi)部整合。截至2021年5月31日，屹唐股份與MTI共同擁有27項境內(nèi)已授權(quán)發(fā)明專利和275項境外已授權(quán)發(fā)明專利，合計擁有309項已授權(quán)專利。目前，屹唐股份在干法去膠、快速熱處理及干法刻蝕3類專用設(shè)備產(chǎn)品領(lǐng)域均掌握了相關(guān)核心技術(shù)，并于2018年中國研發(fā)制造基地建成后，實現(xiàn)了3種設(shè)備的本地生產(chǎn)和銷售。報告期內(nèi)，2018年-2020年屹唐股份研發(fā)投入占營收比例分別為16.75%、17.75%和14.20%。公司研發(fā)人員共124人，占員工總數(shù)的20.46%。

在核心技術(shù)人員方面，MTI的4名核心技術(shù)人員留任3人，其余1人因個人原因離職。收購?fù)瓿珊螅偬乒煞萦制刚埩薍ao Allen Lu（陸郝安）、Schubert S. Chu、Michael Xiaoxuan Yang（楊曉晅）、龍茂林、Hua Chung（仲華）等5人在MTI和屹唐股份同時擔(dān)任核心技術(shù)人員，形成了以上述5人為核心的技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊。上述5人都曾在應(yīng)用材料任職，其中Hao Allen Lu還曾任英特爾技術(shù)制造部資深主任工程師、掩膜刻蝕部門負(fù)責(zé)人、中國區(qū)公共事務(wù)部總監(jiān)、技術(shù)制造工程部中國芯片廠項目主管等職務(wù)；2016年5月，他還擔(dān)任了SEMI全球副總裁和中國區(qū)總裁。

財政審計局為實際控制人

屹唐股份的直接控股股東為北京屹唐盛龍半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)投資中心（有限合伙），持有45.05%的公司股份。最近一年，江蘇招銀、南京招銀、環(huán)旭創(chuàng)芯、吉慧投資等23家機(jī)構(gòu)通過增資或受讓股權(quán)的方式成為發(fā)行人新增股東。屹唐盛龍的執(zhí)行事務(wù)合伙人為亦莊產(chǎn)投，根據(jù)其《合伙協(xié)議》，亦莊產(chǎn)投對外代表企業(yè)，間接控制屹唐股份45.05%的表決權(quán)。亦莊國投則持有亦莊產(chǎn)投100%的股權(quán)。需要指出的是，亦莊產(chǎn)投和亦莊國投的法定代表人均為楊永政，其也是屹唐股份董事長。財政審計局則持有亦莊國投100%的股權(quán)，為屹唐股份實際控制人。除了屹唐盛龍，BH1、BH2和寧波義方為發(fā)行人員工持股平臺，合計持有屹唐股份13.52%的股份。海松非凡對屹唐股份的持股比例為7.21%，是第三大股東。環(huán)旭創(chuàng)芯則為華瑞世紀(jì)的全資子公司，兩家合計持有5.26%的股份。

結(jié)語：屹唐股份三大設(shè)備自主可控干法刻蝕設(shè)備市場份額較低

在收購MTI后，屹唐股份對雙方技術(shù)情況進(jìn)行了整合，共享技術(shù)和資源，實現(xiàn)了干法去膠、快速熱處理及干法刻蝕三類專用設(shè)備的本土生產(chǎn)能力，促進(jìn)了國產(chǎn)芯片的自主可控。但同時，根據(jù)Gartner的數(shù)據(jù)，2020年全球干法刻蝕設(shè)備市場規(guī)模為136.89億美元，是屹唐股份的三大產(chǎn)品中規(guī)模最大的市場。而這一領(lǐng)域也是屹唐股份市場份額最低、收入占比最低的產(chǎn)品。屹唐股份如果遲遲無法在這一領(lǐng)域打開局面，有可能會在與國際巨頭和國內(nèi)廠商的競爭中處于下風(fēng)。