2021中國(guó)MEMS10強(qiáng)企業(yè)，附23條MEMS生產(chǎn)線匯總！

10月27日，2021年中國(guó)MEMS制造大會(huì)（China MEMS）在蘇州舉行，這是目前中國(guó)MEMS行業(yè)最具影響力的大會(huì)，由中國(guó)唯一的MEMS行業(yè)組織——中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)MEMS分會(huì)聯(lián)合微納制造中試平臺(tái)、中科院納米所等舉行，今年已經(jīng)是第三屆。

會(huì)上，舉行了“2020年中國(guó)半導(dǎo)體MEMS十強(qiáng)企業(yè)”頒獎(jiǎng)儀式，宣布了上一年度國(guó)內(nèi)優(yōu)秀的MEMS企業(yè)十強(qiáng)名單，該名單是目前國(guó)內(nèi)最權(quán)威的MEMS企業(yè)名錄，代表現(xiàn)在中國(guó)MEMS領(lǐng)域?qū)嵙ψ顝?qiáng)的10家頭部企業(yè)。

1 歌爾微電子股份有限公司

歌爾微電子成立于2001年6月，2008年5月在深交所上市，主要聚焦MEMS麥克風(fēng)及模組、智能傳感器及模組、SiP封裝等相關(guān)業(yè)務(wù)，專注于MEMS相關(guān)產(chǎn)品的自主研發(fā)設(shè)計(jì)與制造，其產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于智能手機(jī)、無(wú)線耳機(jī)、智能穿戴、智能家居、無(wú)人機(jī)及汽車電子等領(lǐng)域。

《中國(guó)傳感器發(fā)展藍(lán)皮書》首批36家具有影響力的傳感器企業(yè)之一，中國(guó)微型麥克風(fēng)代表性企業(yè)，在微型麥克風(fēng)領(lǐng)域，市場(chǎng)占有率居世界同行業(yè)之首。據(jù)Yole Development 《202年MEMS產(chǎn)業(yè)現(xiàn)狀報(bào)告》顯示，歌爾在2020年全球MEMS廠商營(yíng)收排名中升至第六位，繼去年首次躋身前十后，僅用一年時(shí)間排名升至第六，也是前十名中唯一一家中國(guó)企業(yè)，報(bào)告還指出，在MEMS麥克風(fēng)方面，歌爾15年來(lái)首次超過(guò)樓氏電子成為行業(yè)第一。
上市企業(yè)，上半年市值約1351億元，2021上半年?duì)I收302.88億元，同比增長(zhǎng)94.49%；上半年凈利潤(rùn)17.31億元，同比增長(zhǎng)121.71%
官網(wǎng)：https://www.goertek.com/

2 瑞聲聲學(xué)科技（深圳）有限公司

瑞聲科技控股有限公司為智能設(shè)備提供領(lǐng)先的微型專有技術(shù)解決方案，在聲學(xué)、光學(xué)、觸覺反饋、精密制造、微機(jī)電、無(wú)線射頻和天線領(lǐng)域擁有材料研發(fā)、仿真、算法、設(shè)計(jì)、自動(dòng)化以及工藝開發(fā)等尖端技術(shù)。
集團(tuán)在設(shè)計(jì)和大批量高精密制造方面有近三十年經(jīng)驗(yàn)，《中國(guó)傳感器發(fā)展藍(lán)皮書》首批36家具有影響力的傳感器企業(yè)之一，中國(guó)電聲元器件代表性企業(yè)，全球著名的電聲元器件制造商之一，2005年在香港上市。在微型聲學(xué)、觸覺、MEMS麥克風(fēng)領(lǐng)域，分別被工信部認(rèn)定為我國(guó)制造業(yè)單項(xiàng)冠軍示范企業(yè)。現(xiàn)已成為全球領(lǐng)先的同行、IT及消費(fèi)電子市場(chǎng)微型元器件整體方案供貨商。
港股上市企業(yè)，上半年市值約316.94億元，2021上半年?duì)I收86億港元，同比增長(zhǎng)9.90%；上半年凈利潤(rùn)9.21萬(wàn)港元，同比增長(zhǎng)187.40%
官網(wǎng)：https://www.aactechnologies.com/

3 華潤(rùn)微集成電路有限公司

華潤(rùn)微電子是2002年華潤(rùn)集團(tuán)收購(gòu)華晶集團(tuán)改組而成，是領(lǐng)先的半導(dǎo)體和智能傳感器供應(yīng)商，總部位于無(wú)錫，擁有3條6英寸線，其中MEMS產(chǎn)線是國(guó)內(nèi)規(guī)模最大的與CMOS生產(chǎn)線兼容的MEMS傳感器量產(chǎn)生產(chǎn)線，具有國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平的 MEMS 表面和體硅加工技術(shù)，用于制造壓力、硅麥克風(fēng)、光電、溫濕度等MEMS傳感器。
華潤(rùn)微電子8吋MEMS的3000片/月產(chǎn)能擴(kuò)充已經(jīng)完成，并投入使用。光電及MEMS麥克風(fēng)工藝平臺(tái)從6英寸升級(jí)到8英寸，實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)，產(chǎn)品性能及良率水平優(yōu)秀；整體提升了其MEMS工藝技術(shù)水平和競(jìng)爭(zhēng)能力。

上市企業(yè)，上半年市值約908.9億元，2021上半年?duì)I收44.55億元，同比增長(zhǎng)45.44%；上半年凈利潤(rùn)10.68億元，同比增長(zhǎng)164.86%
官網(wǎng)：https://www.crmicro.com/

4 蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司

蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司成立于2007年9月，是一家專業(yè)從事微電子機(jī)械系統(tǒng)傳感器研發(fā)設(shè)計(jì)的高新技術(shù)企業(yè)，公司總部在蘇州工業(yè)園區(qū)，并在蘇州工業(yè)園區(qū)、昆山設(shè)有傳感器產(chǎn)品制造工廠。

目前，憑借自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的芯片設(shè)計(jì)，并與國(guó)際知名Fab廠和封裝廠合作，完成了公司產(chǎn)品的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化，并帶動(dòng)了MEMS上下游產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展。公司三大產(chǎn)品線分別為MEMS麥克風(fēng)、MEMS壓力傳感器和MEMS慣性傳感器，應(yīng)用場(chǎng)景涵蓋了消費(fèi)電子、醫(yī)療、工業(yè)控制以及汽車電子等領(lǐng)域。

《中國(guó)傳感器發(fā)展藍(lán)皮書》首批36家具有影響力的傳感器企業(yè)之一，EET電子工程專輯（中國(guó)）2021年中國(guó)傳感器公司TOP10之一。敏芯作為中國(guó)最早成立的MEMS研發(fā)公司之一，現(xiàn)已擁有完整的芯片設(shè)計(jì)、晶圓制造、封裝與測(cè)試等全產(chǎn)業(yè)鏈的自主研發(fā)設(shè)計(jì)能力，憑借完全自主設(shè)計(jì)的MEMS芯片與ASIC芯片成功打破了國(guó)外廠商長(zhǎng)期壟斷的格局，為MEMS全產(chǎn)業(yè)鏈的國(guó)產(chǎn)化探索了一條完整的道路。
上市企業(yè)，上半年市值約51.55億元，2021上半年?duì)I收1.87億元，同比增長(zhǎng)40.17%；凈利潤(rùn)1021.77萬(wàn)元，同比增長(zhǎng)-40.05%
官網(wǎng)：https://www.memsensing.com/

5 河北美泰電子科技有限公司

中國(guó)電子科技集團(tuán)第十三研究所全資子公司，中國(guó)MEMS行業(yè)協(xié)會(huì)理事長(zhǎng)單位，專門致力于MEMS（微電子機(jī)械系統(tǒng)）器件與系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。連續(xù)多年榮獲“中國(guó)半導(dǎo)體MEMS十強(qiáng)企業(yè)”，是國(guó)內(nèi)最大的MEMS核心芯片、器件和系統(tǒng)產(chǎn)品供應(yīng)商，中國(guó)MEMS技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)者。
《中國(guó)傳感器發(fā)展藍(lán)皮書》首批36家具有影響力的傳感器企業(yè)之一，中國(guó)MEMS傳感器代表性企業(yè)，EET電子工程專輯（中國(guó)）2021年中國(guó)傳感器公司TOP10之一。優(yōu)勢(shì)產(chǎn)品包括MEMS慣性器件與系統(tǒng)、MEMS傳感器、汽車傳感器、壓力傳感器、射頻（RF）MEMS器件等，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于航空航天、高鐵、汽車、自動(dòng)駕駛、通信、地震監(jiān)測(cè)、物聯(lián)網(wǎng)、智慧城市、智能家電等領(lǐng)域。
2015年中電十三所的“6英寸SOI MEMS標(biāo)準(zhǔn)加工技術(shù)及在高性能MEMS 器件中的應(yīng)用”通過(guò)科技部組織的專家驗(yàn)收，用于MEMS陀螺儀、加速度計(jì)、振動(dòng)傳感器、碰撞傳感器、MEMS光開關(guān)、VOA及壓力傳感器等高性能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸產(chǎn)線月產(chǎn)能達(dá)到1萬(wàn)片。

6 美新半導(dǎo)體（天津）有限公司
美新半導(dǎo)體（MEMSIC）是全球領(lǐng)先的慣性MEMS傳感器及解決方案提供商，于1999年成立, 目前總部位于中國(guó)天津，在美國(guó)圣何塞和中國(guó)無(wú)錫、上海、深圳、臺(tái)北設(shè)有研發(fā)機(jī)構(gòu)，在中國(guó)無(wú)錫、上海擁有制造和封測(cè)工廠，銷售及技術(shù)支持網(wǎng)絡(luò)遍及亞太，北美，歐洲，非洲和中東等地區(qū)。
《中國(guó)傳感器發(fā)展藍(lán)皮書》首批36家具有影響力的傳感器企業(yè)之一，中國(guó)慣性傳感器代表性企業(yè)，EET電子工程專輯（中國(guó)）2021年中國(guó)傳感器公司TOP10之一，原創(chuàng)開發(fā)了基于標(biāo)準(zhǔn)CMOS流程的微機(jī)電系統(tǒng)和全球領(lǐng)先的制造工藝和測(cè)試技術(shù)，成功研發(fā)出30多種型號(hào)的加速度傳感器、磁傳感器等產(chǎn)品。
2007年在NASDAQ上市，是全球第一家MEMS上市公司。2020年，美新獲得mCube獨(dú)家授權(quán)其所有慣性傳感器芯片技術(shù)，全面布局電容式加速度計(jì)和陀螺儀領(lǐng)域。最近完成10億人民幣A輪融資，國(guó)內(nèi)最大的MEMS慣性傳感器公司，擁有特色工藝MEMS生產(chǎn)線。
7 蘇州納芯微電子股份有限公司

蘇州納芯微電子是高性能高可靠性模擬芯片的研發(fā)設(shè)計(jì)企業(yè)。公司自2013年成立以來(lái)，專注于圍繞各個(gè)應(yīng)用場(chǎng)景進(jìn)行產(chǎn)品開發(fā)，由傳感器信號(hào)調(diào)理ASIC芯片出發(fā)，向前后端拓展了集成式傳感器芯片、隔離與接口芯片、驅(qū)動(dòng)與采樣芯片，形成了信號(hào)感知、系統(tǒng)互聯(lián)與功率驅(qū)動(dòng)的產(chǎn)品布局。
在混合信號(hào)處理、高耐壓數(shù)字隔離、集成式傳感器設(shè)計(jì)等領(lǐng)域擁有獨(dú)立知識(shí)產(chǎn)權(quán)和豐富技術(shù)儲(chǔ)備，產(chǎn)品已作為新能源汽車、工業(yè)自動(dòng)化等應(yīng)用的關(guān)鍵芯片，成功進(jìn)入多個(gè)行業(yè)一線客戶的供應(yīng)體系并實(shí)現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)。同時(shí)公司持續(xù)加大各應(yīng)用場(chǎng)景的產(chǎn)品研發(fā)，產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于國(guó)內(nèi)知名品牌客戶，涵蓋信息通訊、工業(yè)控制、汽車電子和消費(fèi)電子等領(lǐng)域。
官網(wǎng)：https://www.novosns.com/
8 上海矽?？萍加邢薰?/span>
上海矽?？萍加邢薰境闪⒂?012年9月，專注于MEMS智能傳感器業(yè)務(wù)，設(shè)計(jì)和生產(chǎn)優(yōu)質(zhì)傳感器產(chǎn)品，并為客戶提供相應(yīng)的智能應(yīng)用方案和服務(wù)。
矽?？萍紦碛型耆灾髦R(shí)產(chǎn)權(quán)，申請(qǐng)并成功授權(quán)70余項(xiàng)國(guó)際國(guó)內(nèi)發(fā)明專利，專利組合覆蓋MEMS工藝制程、傳感器設(shè)計(jì)和ASIC設(shè)計(jì)、算法和系統(tǒng)應(yīng)用軟件等。
《中國(guó)傳感器發(fā)展藍(lán)皮書》首批36家具有影響力的傳感器企業(yè)之一，專業(yè)從事高端MEMS傳感器和執(zhí)行器、微系統(tǒng)等技術(shù)與產(chǎn)品的開發(fā)、生產(chǎn)及銷售。
官網(wǎng)：https://www.qstcorp.com/
9 西人馬聯(lián)合測(cè)控（泉州）科技有限公司

西人馬聯(lián)合測(cè)控成立于2017年，總部坐落于福建，北方總部坐落于北京、南方總部坐落于深圳，歐洲總部坐落于法國(guó)巴黎。西人馬聯(lián)合測(cè)控總?cè)藬?shù)近1000人，其中科研人員約600人，擁有超過(guò)500項(xiàng)專利，并以每年30%以上的速度遞增。
EET電子工程專輯（中國(guó)）2021年中國(guó)傳感器公司TOP10之一，采用IDM模式，專注于傳感器芯片及相關(guān)調(diào)理芯片的研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造和封測(cè)。
作為一家IDM芯片供應(yīng)商，西人馬擁有先進(jìn)的MEMS\ASIC\SoC以及非硅基芯片的設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)能力，基于這些先進(jìn)的核心技術(shù)，西人馬既可以單獨(dú)給客戶提供高品質(zhì)的芯片產(chǎn)品，也可以提供相應(yīng)的模組和解決方案，利用西人馬先進(jìn)的傳感器、邊緣計(jì)算產(chǎn)品和相應(yīng)的開發(fā)套件幫助客戶快速地搭建起具有監(jiān)測(cè)與控制功能的A-IoT系統(tǒng)。
官網(wǎng)：https://www.fatritech.com/

5、華虹宏力（代工）
華虹由原上海華虹NEC電子有限公司和上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司合并而成，自建設(shè)中國(guó)大陸第一條8英寸（200mm）集成電路生產(chǎn)線起步，華虹宏力在上海金橋和張江共有三座8英寸晶圓廠（華虹一廠、二廠及三廠），月產(chǎn)能約18萬(wàn)片。
在8英寸制造平臺(tái)上，華虹實(shí)現(xiàn)MEMS器件與標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝及生產(chǎn)線的全兼容。已流片的產(chǎn)品包括磁力計(jì)、加速度計(jì)、壓力傳感器等。
7、睿創(chuàng)微納（IDM）
睿創(chuàng)微納總部位于山東煙臺(tái)，是從事專用集成電路、紅外熱像芯片及MEMS傳感器設(shè)計(jì)與制造的企業(yè)。
睿創(chuàng)微納的8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線由公司與代工廠共建，已量產(chǎn)，月產(chǎn)能1500片晶圓。
2020年7月，與煙臺(tái)開發(fā)區(qū)簽署協(xié)議，建設(shè)一條8英寸MEMS工藝線和一條化合物半導(dǎo)體工藝線。其中，化合物半導(dǎo)體芯片工藝線面向半導(dǎo)體激光器、光電探測(cè)器、微波器件以及功率器件；MEMS工藝線面向高端光學(xué)MEMS器件、RF MEMS器件和慣性MEMS傳感器等。
8、罕王微電子（IDM&代工）罕王微電子是一家以MEMS傳感器設(shè)計(jì)及制造生產(chǎn)為核心的高科技中美合資企業(yè)，總部位于遼寧省沈撫新區(qū)，系罕王集團(tuán)控股子公司。
罕王微電子2016年收購(gòu)美信旗下MEMS傳感器業(yè)務(wù)，2018年建成國(guó)內(nèi)首條8英寸純MEMS規(guī)模化量產(chǎn)線，工藝能力涵蓋MEMS芯片生產(chǎn)全流程，設(shè)計(jì)晶圓產(chǎn)能36萬(wàn)片/年。生產(chǎn)傳感器包括：陀螺儀、IMU慣性測(cè)量單元、射頻RF-MEMS及加速度、溫度、濕度、壓力、應(yīng)力傳感器等。
9、河北美泰（IDM）
中國(guó)電子科技集團(tuán)第十三研究所全資子公司，2015年中電十三所的“6英寸SOI MEMS標(biāo)準(zhǔn)加工技術(shù)及在高性能MEMS 器件中的應(yīng)用”通過(guò)科技部組織的專家驗(yàn)收。
6英寸SOI MEMS標(biāo)準(zhǔn)工藝和封裝技術(shù)用于MEMS陀螺儀、加速度計(jì)、振動(dòng)傳感器、碰撞傳感器、MEMS光開關(guān)、VOA及壓力傳感器等高性能MEMS器件的批量加工，美泰科技6英寸產(chǎn)線月產(chǎn)能達(dá)到1萬(wàn)片。
10、廈門西人馬（IDM）
西人馬（FATRI）是一家芯片IDM公司，旗下西人馬聯(lián)合測(cè)控（泉州）科技有限公司（FATRI UTC）成立于2017年，是西人馬MEMS高端傳感器和芯片制造基地，占地70畝，建筑面積20000㎡，具有6000㎡的超凈車間和先進(jìn)微納米研究實(shí)驗(yàn)室，配備8英寸向下兼容6英寸的MEMS智能傳感器芯片產(chǎn)線和中國(guó)先進(jìn)的MEMS器件加工平臺(tái)。
西人馬19年11月獲得朗潤(rùn)基金數(shù)千萬(wàn)A輪融資，20年一季度獲得A+輪的1億元人民幣融資，今年3月獲B輪融資，發(fā)展迅速，西人馬已經(jīng)成為國(guó)內(nèi)MEMS領(lǐng)域IDM芯片公司的鰲頭，紅外和壓力傳感器每日產(chǎn)量可以達(dá)到幾十萬(wàn)顆。
11、廣州奧松電子（IDM&代工）
奧松電子成立于2003年，專注于MEMS半導(dǎo)體工藝技術(shù)，是國(guó)內(nèi)率先應(yīng)用MEMS半導(dǎo)體工藝技術(shù)生產(chǎn)傳感器芯片的高新技術(shù)企業(yè)，也是廣東省MEMS領(lǐng)域集研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、封裝測(cè)試、終端應(yīng)用為一體的MEMS智能傳感器全產(chǎn)業(yè)鏈（簡(jiǎn)稱IDM）企業(yè)。
2019年奧松電子斥巨資打造MEMS半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線，一期工程凈化車間總面積約2500平方米，配置濕法清洗區(qū)、百級(jí)潔凈度光刻區(qū)、千級(jí)潔凈度鍍膜區(qū)、千級(jí)潔凈度刻蝕區(qū)、千級(jí)潔凈度離子注入?yún)^(qū)及參觀通道等。
2020年9月，廣州奧松電子有限公司6英寸MEMS半導(dǎo)體傳感器芯片生產(chǎn)線正式投入運(yùn)營(yíng)，成功量產(chǎn)出溫濕度、流量、氣體、差壓、風(fēng)速等傳感器芯片。
奧松電子MEMS半導(dǎo)體生產(chǎn)線一期工程為500納米MEMS半導(dǎo)體工藝制程，生產(chǎn)設(shè)備約占整個(gè)投資規(guī)模的70%。根據(jù)規(guī)劃，2021年二期工程將建成350納米制程工藝MEMS半導(dǎo)體生產(chǎn)線；2022年三期工程將建成180納米制程工藝MEMS半導(dǎo)體生產(chǎn)線；總項(xiàng)目全部建成投產(chǎn)后，每月流片規(guī)模將達(dá)到4萬(wàn)片，
2021年8月，奧松電子官網(wǎng)宣布對(duì)外開放MEMS芯片代工業(yè)務(wù)，包括設(shè)備共享、技術(shù)支持、企業(yè)孵化等服務(wù)。
2021年4月奧松電子控股的全資子公司——奧松半導(dǎo)體（珠海）有限公司，將在珠海高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)建設(shè)8英寸先進(jìn)MEMS特色半導(dǎo)體IDM產(chǎn)業(yè)基地項(xiàng)目。該項(xiàng)目建成后，將成為國(guó)內(nèi)先進(jìn)的MEMS芯片及智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群，提高M(jìn)EMS芯片的代工和量產(chǎn)能力。
12、諾思微系統(tǒng)（IDM）
諾思微系統(tǒng)位于天津，是一家無(wú)線設(shè)備射頻前端MEMS濾波芯片服務(wù)商，其產(chǎn)品主要采用薄膜體聲波諧振器(FBAR)技術(shù)以及硅襯底的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)制造技術(shù)，同時(shí)為無(wú)線射頻濾波器、雙工器、和多工器等提供解決方案。  
諾思微已投產(chǎn)一條6英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線和一條4英寸工藝研發(fā)線。廠房和研發(fā)中心總占地面積2.7萬(wàn)平方米。
2021年3月，國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件”重點(diǎn)專項(xiàng)項(xiàng)目“硅基MEMS壓電薄膜及器件關(guān)鍵技術(shù)與平臺(tái)”的項(xiàng)目在諾思微系統(tǒng)啟動(dòng)，針對(duì)5G/6G無(wú)線通訊、物聯(lián)網(wǎng)等對(duì)射頻濾波器、智能傳感器提出新的技術(shù)要求，對(duì)實(shí)現(xiàn)晶圓級(jí)硅基MEMS壓電器件的大規(guī)模生產(chǎn)、擺脫我國(guó)目前關(guān)鍵MEMS壓電器件受制于人的局面，有重要意義。
2021年8月完成4億元融資，預(yù)計(jì)在一年內(nèi)全面加速產(chǎn)能釋放，達(dá)年產(chǎn)20億顆濾波器芯片的產(chǎn)能規(guī)模。
13、多維科技（IDM&代工）
成立于2010年，總部在江蘇張家港，建設(shè)有完整的第四代磁傳感技術(shù)——隧道磁電阻（TMR）的磁性感應(yīng)芯片產(chǎn)線。
多維科技的磁傳感器晶圓代工廠擁有6英寸和8英寸MEMS晶圓產(chǎn)線，提供完整的磁傳感器（AMR / GMR / TMR）開發(fā)及晶圓制造服務(wù)（包括設(shè)計(jì)、制造和測(cè)試），年產(chǎn)10億個(gè)TMR磁傳感器。
2021年5月多維科技獲4億元融資，將用于對(duì)現(xiàn)有產(chǎn)線進(jìn)行升級(jí)，能夠進(jìn)一步強(qiáng)化“自研、自產(chǎn)、技術(shù)領(lǐng)先”的核心競(jìng)爭(zhēng)力。
14、湖南啟泰傳感科技（IDM）
2006年成立，總部在湖南瀏陽(yáng)。啟泰傳感以王國(guó)秋教授為首的科研團(tuán)隊(duì)攻克了異質(zhì)膜關(guān)鍵工藝與技術(shù)，建設(shè)國(guó)內(nèi)第一條金屬基薄膜力敏芯片——MEMS壓敏傳感芯片生產(chǎn)線，是世界上少數(shù)幾家具有金屬濺射薄膜壓敏芯片規(guī)模化生產(chǎn)能力的公司之一。
2019年8月該生產(chǎn)線實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)，年產(chǎn)壓敏傳感芯片50萬(wàn)顆，至2021年一期工程順利完工投產(chǎn)，用地面積35畝，建設(shè)總用地面積2萬(wàn)多平米，傳感器芯片年生產(chǎn)能力可達(dá)600萬(wàn)顆，傳感器封裝200萬(wàn)支，年產(chǎn)值可達(dá)10億元。
二期項(xiàng)目正在進(jìn)行，預(yù)計(jì)完工后，傳感器芯片產(chǎn)能將達(dá)2000萬(wàn)顆，傳感器封裝1000萬(wàn)支，年產(chǎn)值可達(dá)50億元。
15、高德紅外（IDM）
高德紅外創(chuàng)立于1999年，總部位于武漢，擁有8 英寸 0.25um 批產(chǎn)型 MEMS 生產(chǎn)線，是目前國(guó)內(nèi)唯一一條自主可控且具備批產(chǎn)能力的非制冷紅外焦平面探測(cè)器生產(chǎn)線，已實(shí)現(xiàn)從 120×90 到 1280×1024 從低到高各類面陣規(guī)格產(chǎn)品型號(hào)批產(chǎn)能力。
高德紅外目前已擁有3條8英寸紅外探測(cè)器產(chǎn)線，據(jù)2021年8月消息，年底將有新產(chǎn)線投產(chǎn)，并提高3~4倍產(chǎn)能。
16、武漢衍熙微器件（IDM）
武漢衍熙微器件擁有全國(guó)第一條8寸體聲波（BAW）量產(chǎn)線，具有先進(jìn)的光刻、薄膜、蝕刻以及封裝設(shè)備，并建立創(chuàng)新自主開發(fā)的產(chǎn)品生產(chǎn)流程。該產(chǎn)線主要產(chǎn)品有MEMS濾波器、雙工器等。
2018年，武漢衍熙微器件進(jìn)行項(xiàng)目擴(kuò)建，一期為租賃現(xiàn)有廠房5600平方米，建設(shè)3600平方米的無(wú)塵室車間；二期計(jì)劃建設(shè)約10000平方米的無(wú)塵室車間，用于擴(kuò)大生產(chǎn)。

17、杭州士蘭微電子（IDM）
杭州士蘭微1997年成立，是國(guó)內(nèi)規(guī)模最大的集成電路芯片設(shè)計(jì)與制造一體（IDM）的企業(yè)之一。
自2010年開始，士蘭微電子投入大量資金，通過(guò)對(duì)加速度傳感器、地磁傳感器、壓力傳感器等一系列傳感器產(chǎn)品的開發(fā)，在6吋、8吋芯片生產(chǎn)線上實(shí)現(xiàn)了批量制造能力，并建立自己的MEMS封測(cè)生產(chǎn)線，初步走通了系列傳感器的IDM發(fā)展之路，已申請(qǐng)相關(guān)發(fā)明專利百余項(xiàng)。
目前士蘭微MEMS傳感器產(chǎn)品系列豐富，有：MEMS加速度計(jì)、三軸AMR磁傳感器、六軸慣性傳感器、高性能MEMS麥克風(fēng)、數(shù)字三合一傳感器、心率傳感器、高性能氣壓壓力傳感器等。
2021年7月30日，士蘭微發(fā)出資產(chǎn)重組公告，引入國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司，募集11億元。
18、蘇州固锝（IDM）
蘇州固锝成立于1990年，是國(guó)內(nèi)二極管龍頭企業(yè)，旗下子公司明銳光電、明皜傳感、艾特曼電子等涉足MEMS傳感器IDM業(yè)務(wù)。
2010年固锝收購(gòu)明銳光電，明銳光電主要從事MEMS-CMOS三維集成制造平臺(tái)技術(shù)及八寸晶圓級(jí)封裝技術(shù)及產(chǎn)線和產(chǎn)品研發(fā)。

2011年成立明皜傳感，從事微機(jī)電傳感器芯片和器件的工藝開發(fā)、設(shè)計(jì)。2021年8月，明皜傳感獲小米投資，注冊(cè)資本由 6443.64 萬(wàn)元人民幣增加至 7085.19 萬(wàn)元人民幣，增幅為 9.96%。
2012年成立艾特曼電子，主要從事晶圓級(jí)MEMS器件封裝工藝及相關(guān)核心技術(shù)的開發(fā)并提供代工服務(wù)，服務(wù)領(lǐng)域涵蓋消費(fèi)類電子產(chǎn)品、汽車電子、工業(yè)控制、家電領(lǐng)域慣性傳感器（加速度計(jì)、陀螺儀）以及紅外傳感器等。
2021年6月，蘇州固锝與華景傳感合資成立華锝半導(dǎo)體，愿景是將華景傳感的MEMS麥克風(fēng)芯片設(shè)計(jì)技術(shù)與蘇州固锝的封測(cè)技術(shù)及生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)相結(jié)合，逐步實(shí)現(xiàn)MEMS麥克風(fēng)在高端領(lǐng)域的進(jìn)口替代。
同月，華锝MEMS聲學(xué)傳感器及射頻濾波器封測(cè)項(xiàng)目落戶蘇州。項(xiàng)目一期產(chǎn)線將建立符合華為體系標(biāo)準(zhǔn)的MEMS聲學(xué)傳感器的封測(cè)基地，主要客戶有小米、科大訊飛等；二期將引入國(guó)內(nèi)首創(chuàng)MEMS麥克風(fēng)及射頻濾波器的WLP晶圓級(jí)封裝產(chǎn)線，該晶圓級(jí)封裝為芯片流片工藝最后一道關(guān)鍵工藝，華锝將擁有自主晶圓級(jí)封裝相關(guān)自主技術(shù)知識(shí)產(chǎn)權(quán)。
19、蘇州納米城（中試線）
蘇州納米城6英寸MEMS中試線由蘇州納米科技發(fā)展有限公司（蘇州工業(yè)園區(qū)政府出資）建設(shè)，是江蘇省“十二五”重大科技平臺(tái)項(xiàng)目。
蘇州6英寸微納機(jī)電制造（MEMS）中試線采用市場(chǎng)化、全開放的運(yùn)作模式，主要開展MEMS產(chǎn)品工藝研發(fā)、MEMS加工、部分封裝測(cè)試、專利運(yùn)營(yíng)、設(shè)備租賃、超凈場(chǎng)地租賃、工藝技術(shù)培訓(xùn)等十多項(xiàng)專業(yè)服務(wù)，目前已成功導(dǎo)入壓力傳感器、微鏡傳感器、微流體傳感器等產(chǎn)品
20、淄博高新區(qū)6英寸中試線
該產(chǎn)線由清華大學(xué)、淄博高新區(qū)MEMS研究院和國(guó)高(淄博)微系統(tǒng)科技有限公司共同完成。
是國(guó)內(nèi)首條硅基4/6英寸兼容MEMS中試代工平臺(tái)，超凈規(guī)模國(guó)內(nèi)一流；配備了國(guó)際一流設(shè)備的中試代工線，中試生產(chǎn)能力可達(dá)月產(chǎn)傳感器十萬(wàn)只，產(chǎn)品的測(cè)試環(huán)境也居國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平。
21、中科院微電子所（中試線）
2016年由中科院微電子所設(shè)立的MEMS研發(fā)平臺(tái)，其8英寸MEMS中試線工藝穩(wěn)定性達(dá)到98%；針對(duì)三軸重力加速度計(jì)、基于氧化釩的紅外圖像傳感器、醫(yī)用CT中X-ray探測(cè)、基于薄膜體聲波濾波器（FBAR）、MEMS紅外探測(cè)器等產(chǎn)品。
22、上海微技術(shù)工研院（中試線）
2017年，上海微技術(shù)工業(yè)研究院（以下簡(jiǎn)稱“工研院”）構(gòu)建的國(guó)內(nèi)首條，全球領(lǐng)先，兼容CMOS的8英寸研發(fā)中試線正式投入運(yùn)營(yíng)，月產(chǎn)量將達(dá)到3000件。
該產(chǎn)線部署了MEMS、硅光子、RF、硅基III-V族、3D集成、MR磁傳感、功率及生物等相關(guān)工藝和量測(cè)設(shè)備。作為國(guó)內(nèi)第一條先進(jìn)8英寸研發(fā)中試線，SITRI的8英寸研發(fā)中試線不僅可承擔(dān)產(chǎn)品研發(fā)、小批量生產(chǎn)、技術(shù)培訓(xùn)、設(shè)備驗(yàn)證等服務(wù)，有助于提升研發(fā)的成功率。
今年6月，上海微技術(shù)工研院宣布將8英寸線每年四分之一的總機(jī)時(shí)資助給上海大學(xué)，用于微電子學(xué)院教學(xué)實(shí)踐，為期5年。
23、中科院上海微系統(tǒng)所（研發(fā)平臺(tái)）
中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)所現(xiàn)有的MEMS技術(shù)平臺(tái)由微系統(tǒng)加工平臺(tái)和微系統(tǒng)封裝平臺(tái)兩部分組成，分別位于上海微系統(tǒng)所漕河涇園區(qū)內(nèi)主樓的一層和二層凈化間內(nèi)。
整個(gè)平臺(tái)擁有100多臺(tái)套先進(jìn)的大中型設(shè)備，總價(jià)值達(dá)1.1億元，可以完成從微芯片制造、芯片封裝、器件測(cè)試、微系統(tǒng)集成等成套工藝，為微系統(tǒng)研究提供有力的技術(shù)保障。