中芯國際霸氣捧出10個(gè)IPO，給國產(chǎn)設(shè)備材料撐場(chǎng)子！
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編輯 | Panken
芯東西6月20日?qǐng)?bào)道，近日，國產(chǎn)CMP（化學(xué)機(jī)械拋光）設(shè)備龍頭華海清科上市，其12英寸CMP設(shè)備打破了國際巨頭壟斷，為中芯國際、華虹和長江存儲(chǔ)等國產(chǎn)晶圓制造廠商提供了自主可控的CMP設(shè)備。值得注意的是，華海清科的首臺(tái)12英寸設(shè)備就是向國產(chǎn)晶圓代工龍頭中芯國際出貨進(jìn)行驗(yàn)證，公司也在中芯國際的陪伴下成為了CMP設(shè)備領(lǐng)域的國產(chǎn)龍頭。上市儀式中，華海清科董事長路新春與國家02專項(xiàng)總師葉甜春都盛贊了中芯國際等下游晶圓制造企業(yè)對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化的支持。而產(chǎn)品率先在中芯國際通過驗(yàn)證，隨后打入國內(nèi)外市場(chǎng)，最終發(fā)展壯大、實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)化的故事，并非僅有華海清科一例。拓荊科技、芯源微、北方華創(chuàng)、中微公司、上海新陽、滬硅產(chǎn)業(yè)等國產(chǎn)半導(dǎo)體玩家都有核心產(chǎn)品首先在中芯國際通過驗(yàn)證，之后成為了細(xì)分領(lǐng)域的國產(chǎn)龍頭。中芯國際作為國產(chǎn)晶圓代工“一哥”，在面對(duì)使用新的國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備、材料風(fēng)險(xiǎn)時(shí)，愿意培養(yǎng)國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備和材料企業(yè)。其更是親身帶出了一批國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備、材料IPO，推動(dòng)國產(chǎn)半導(dǎo)體供應(yīng)鏈成長。
▲中芯國際帶出的十大半導(dǎo)體設(shè)備、材料IPO情況（截至2022年6月20日）
01. 國產(chǎn)設(shè)備、材料難過驗(yàn)證關(guān)中芯國際成為試金石對(duì)于中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，上游的半導(dǎo)體設(shè)備和材料既是被“卡脖子”的重要領(lǐng)域，也是國產(chǎn)半導(dǎo)體企業(yè)飛速成長的賽道。至今，滬硅產(chǎn)業(yè)、中微公司、北方華創(chuàng)、芯源微、拓荊科技、盛美上海、屹唐股份、華海清科等各大細(xì)分領(lǐng)域材料、設(shè)備龍頭相繼上市，加速了半導(dǎo)體材料和設(shè)備領(lǐng)域國產(chǎn)化。而很多國產(chǎn)半導(dǎo)體材料、設(shè)備龍頭的新產(chǎn)品在首次打入市場(chǎng)時(shí)，往往會(huì)優(yōu)先選擇中芯國際這家國產(chǎn)晶圓制造龍頭。對(duì)于國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備和材料玩家來說，新產(chǎn)品想要打入市場(chǎng)，真正地替代國際巨頭的產(chǎn)品，不僅要在性能參數(shù)和性價(jià)比上取得優(yōu)勢(shì)，更要取得晶圓廠的信任，通過其漫長、嚴(yán)格的驗(yàn)證。半導(dǎo)體行業(yè)是一個(gè)資本密集、技術(shù)密集的行業(yè)，最尖端的先進(jìn)制程晶圓廠投資往往要數(shù)十億甚至上百億美元，而且少數(shù)國際巨頭基本占據(jù)了主要的市場(chǎng)份額。中國刻蝕設(shè)備龍頭中微公司的招股書中寫道：“半導(dǎo)體制造商對(duì)設(shè)備的嚴(yán)苛要求使得行業(yè)新進(jìn)入者需要經(jīng)過較長時(shí)間的技術(shù)積累才能進(jìn)入該領(lǐng)域，長期的研發(fā)與驗(yàn)證對(duì)行業(yè)進(jìn)入者的資本實(shí)力也提出了很高的要求?！?/span>
▲中微公司產(chǎn)品的驗(yàn)證階段（圖片來源：中微公司招股書）
出于對(duì)良率和成本等核心競(jìng)爭力的考慮，晶圓廠在很多時(shí)候不具備使用新進(jìn)入企業(yè)產(chǎn)品的意愿。有中芯國際的內(nèi)部人士對(duì)芯東西提及，上游的設(shè)備廠商必然都希望能夠得到名企大廠的背書，但這種驗(yàn)證對(duì)晶圓廠來說存在較大的風(fēng)險(xiǎn)，選擇也會(huì)更嚴(yán)。對(duì)國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商和材料廠商來說，中芯國際就是其驗(yàn)證的首選，也是一塊試金石。不過，盡管驗(yàn)證十分困難，但設(shè)備和材料產(chǎn)品一旦通過驗(yàn)證并實(shí)際進(jìn)入產(chǎn)線，即進(jìn)入了下游客戶的合格供應(yīng)商名錄，后續(xù)采購需求也會(huì)相對(duì)穩(wěn)定。華海清科、拓荊科技、芯源微、中微公司、北方華創(chuàng)等公司的新產(chǎn)品在通過中芯國際驗(yàn)證后，由中芯國際開始逐漸打開了國內(nèi)乃至國外的晶圓廠市場(chǎng)，對(duì)國際龍頭的產(chǎn)品起到了替代作用。02.助力五大國產(chǎn)設(shè)備龍頭國產(chǎn)設(shè)備進(jìn)入12英寸產(chǎn)線華海清科、拓荊科技、芯源微、中微公司、北方華創(chuàng)五家細(xì)分領(lǐng)域國產(chǎn)設(shè)備龍頭的成長都離不開中芯國際的支持。具體來說，華海清科、拓荊科技和中微公司的首臺(tái)產(chǎn)品都由中芯國際進(jìn)行驗(yàn)證，隨后其產(chǎn)品才逐漸打入國內(nèi)其他的晶圓廠，逐步替代了外國龍頭的產(chǎn)品；北方華創(chuàng)的驗(yàn)證單位就是中芯國際，其12英寸刻蝕機(jī)、清洗機(jī)、氧化爐等設(shè)備都由中芯國際進(jìn)行驗(yàn)證；芯源微的前道晶圓清洗機(jī)由中芯國際率先進(jìn)行驗(yàn)證。1、中微公司：等離子刻蝕設(shè)備率先進(jìn)入中芯國際中微公司2004年8月在上海張江啟動(dòng)運(yùn)營，產(chǎn)品主要為半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備。據(jù)媒體報(bào)道，2007年，中微公司推出了應(yīng)用于65納米至45納米高端芯片生產(chǎn)的刻蝕設(shè)備，并率先在國內(nèi)12英寸產(chǎn)線上進(jìn)行試用。從時(shí)間上看，中芯國際是國內(nèi)唯一擁有12英寸晶圓產(chǎn)線的企業(yè)，該產(chǎn)品試產(chǎn)驗(yàn)證有很大可能在中芯國際進(jìn)行。此后，這種合作也有所延續(xù)。中微公司等離子體刻蝕設(shè)備Primo AD-RIE裝配中芯國際，首次進(jìn)入中國大陸客戶生產(chǎn)線，用于32nm至28nm制程。至今，中微公司產(chǎn)品已成功進(jìn)入國際龍頭的7nm產(chǎn)線，成為了國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭之一。2、北方華創(chuàng)：多個(gè)28nm產(chǎn)品在中芯國際驗(yàn)證北方華創(chuàng)是由北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司和北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司于2017年2月戰(zhàn)略重組而成，是國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭，其半導(dǎo)體產(chǎn)品包括刻蝕、薄膜沉積、氧化、清洗、量測(cè)等多個(gè)領(lǐng)域，被譽(yù)為中國“應(yīng)用材料”。據(jù)悉，北方華創(chuàng)承擔(dān)了較多的02專項(xiàng)裝備項(xiàng)目，其驗(yàn)證單位就是中芯國際。中芯國際承擔(dān)了北方華創(chuàng)大部分專項(xiàng)項(xiàng)目（半導(dǎo)體設(shè)備）的驗(yàn)證工作，幫助北方華創(chuàng)完成了氧化爐、刻蝕機(jī)、清洗機(jī)等半導(dǎo)體設(shè)備90/55/40/28納米工藝驗(yàn)證。北方華創(chuàng)能夠有如此多的產(chǎn)品打入28nm，中芯國際的功勞不可埋沒。
▲華海清科發(fā)展歷程
03.帶出五大材料供應(yīng)商覆蓋硅片、光刻膠等領(lǐng)域除了半導(dǎo)體設(shè)備，安集科技、江豐電子、上海新陽、晶瑞股份、滬硅產(chǎn)業(yè)等半導(dǎo)體材料上市公司也是“中芯鏈”的重要成員。1、滬硅產(chǎn)業(yè)：打破國際龍頭12英寸硅片壟斷滬硅產(chǎn)業(yè)成立于2015年12月，其旗下的上海新昇是我國首個(gè)12英寸半導(dǎo)體硅片供應(yīng)商，為國產(chǎn)晶圓制造企業(yè)提供了自主、可控的12英寸硅片。研制12英寸硅片成功后，上海新昇在2018年陸續(xù)通過了上海華力微和中芯國際的驗(yàn)證，正式打破了此前被信越化學(xué)、勝高、SK siltron等國際龍頭對(duì)12英寸大硅片的壟斷。2、上海新陽：刻蝕清洗液等產(chǎn)品率先進(jìn)入中芯國際1999年7月，上海新陽成立，其擁有完整自主可控知識(shí)產(chǎn)權(quán)的電子電鍍和電子清洗兩大技術(shù)，能夠?yàn)橄掠螐S商提供化學(xué)材料、配套設(shè)備、應(yīng)用工藝和現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)一體化整體解決方案。具體來說，上海新陽是中芯國際的蝕刻清洗液供應(yīng)商，其大馬士革硫酸銅、銅線干法蝕刻清洗液、鋁線干法蝕刻清洗液等產(chǎn)品率先用于中芯國際S1產(chǎn)線。3、安集科技：中芯國際助力實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代安集科技成立于2006年2月，產(chǎn)品包括不同系列的化學(xué)機(jī)械拋光液和光刻膠去除劑等。安集科技為中芯國際批量供應(yīng)CMP拋光液，中芯國際也是安集科技的第一大客戶。根據(jù)其招股書，2016年-2018年期間，安集科技對(duì)中芯國際的銷售占比分別達(dá)66.37%、66.23%和59.70%，其發(fā)展和中芯國際有著緊密的聯(lián)系。在其支持下，安集科技打破了國際龍頭對(duì)集成電路領(lǐng)域化學(xué)機(jī)械拋光液和部分功能性濕電子化學(xué)品的壟斷，實(shí)現(xiàn)了進(jìn)口替代，并成為了行業(yè)主流供應(yīng)商。
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