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光譜共焦如何測量玻璃基板厚度

發(fā)布人:立儀科技 時間:2022-06-23 來源:工程師 發(fā)布文章

玻璃基板在我們生活工作中很多顯示元器件都能經(jīng)??吹剑@是一個表面及其平整的薄玻璃片,目前在商用的玻璃基板的厚度0.7 mm及0.5m m,還有其用于特殊領(lǐng)域的超薄玻璃,因此對于其精度要求是非常高的。

光譜共焦如何測量玻璃基板厚度

那么如何測量玻璃基板厚度呢?

傳統(tǒng)的測量接觸式測量不僅精度無法保證,而且很容易對玻璃表面造成二次傷害,那么有什么辦法呢?2014年深圳立儀科技有限公司自主研發(fā)處理非接觸式測量光譜共焦位移傳感器。光譜共焦傳感器具有高精度、高穩(wěn)定性、大角度、高采樣頻率等測量特性,對于塑料薄膜、玻璃、高光金屬等透明或不透明的鏡面/半鏡面反射材料,以及多層透明材料厚度測量具有特有優(yōu)勢。

光譜共焦傳感器根據(jù)不同材料測量需求,可采用單測頭測厚儀或雙測頭測量。對于透明材料多采用單測頭測量。

由于玻璃基板厚度非常薄,而厚度尺寸管控又非常嚴格,一般在0.01mm的公差,主要準確地測量玻璃厚度、翹曲和平行度。采用立儀光譜共焦傳感器很好的解決這一難題并防止了二次損傷。


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