美資龍頭訴中資企業(yè)“竊密”，后者設(shè)備可用于5nm芯片

導(dǎo)讀：6月15日據(jù)彭博社消息，全球最大半導(dǎo)體設(shè)備制造商美國應(yīng)用材料 (AMAT)正在起訴一家中資競爭對手，稱其耗時14個月竊取了其高價(jià)值機(jī)密。

圖：應(yīng)用材料（AMAT）

據(jù)報(bào)道，AMAT指控國內(nèi)知名半導(dǎo)體設(shè)備制造商屹唐股份位于美國加州的子公司MTI，稱其精心策劃通過員工挖角和轉(zhuǎn)移半導(dǎo)體設(shè)備設(shè)計(jì)等方式“竊取商業(yè)機(jī)密”，涉及用于制造先進(jìn)芯片的新型CVD（化學(xué)氣相沉積）設(shè)備。

AMAT在2022年曾指控稱，MTI在短短一年多的時間里雇傭了17名來自AMAT的高級工程師，其中包括一名高級部門經(jīng)理和研究人員，他們合作多年并知曉芯片制造工藝和公司技術(shù)路線圖等敏感信息，并為MTI提供了相關(guān)機(jī)密文件，“這些文件中有許多是高度敏感的、技術(shù)性的，并且包含AMAT的商業(yè)秘密和專有技術(shù)?！?/span>

圖：屹唐股份主要產(chǎn)品

MTI發(fā)言人對此回應(yīng)稱，AMAT的指控和索賠毫無根據(jù)，該案件此前已經(jīng)經(jīng)過了激烈的法庭程序，但沒有出現(xiàn)任何證據(jù)，而且將來也不會出現(xiàn)，因?yàn)檫@些指控是錯誤的。

根據(jù)美國市場分析公司Gartner的數(shù)據(jù)，2020年屹唐股份干法去膠設(shè)備、快速熱處理設(shè)備的市場占有率分別位居全球第一、第二，堪稱半導(dǎo)體設(shè)備細(xì)分領(lǐng)域的龍頭。

屹唐股份的主要經(jīng)營主體為美國半導(dǎo)體設(shè)備廠商Mattson Technology Inc.（MTI）。MTI原為美國納斯達(dá)克證券交易所上市公司，2016年屹唐股份完成其私有化收購，MTI從美股退市。

在收購MTI后，多名有AMAT任職背景的核心技術(shù)人員繼續(xù)留任，由國資實(shí)控的屹唐股份與MTI實(shí)施知識產(chǎn)權(quán)共享，促進(jìn)了母、子公司知識產(chǎn)權(quán)與核心技術(shù)的內(nèi)部整合。截至2021年5月31日，屹唐股份與MTI共同擁有27項(xiàng)境內(nèi)已授權(quán)發(fā)明專利和275項(xiàng)境外已授權(quán)發(fā)明專利，合計(jì)擁有309項(xiàng)已授權(quán)專利。

圖：用于65nm-5nm的干法刻蝕設(shè)備

根據(jù)屹唐股份2021年發(fā)布的招股書，屹唐股份的干法去膠設(shè)備、快速熱處理設(shè)備可用于90nm到5nm邏輯芯片、10nm系列DRAM芯片以及32層到128層3D閃存芯片；其干法刻蝕設(shè)備主要可用于65nm到5nm邏輯芯片、10nm系列DRAM芯片以及32層到128層3D閃存芯片制造。

在國內(nèi)去膠設(shè)備市場上，屹唐股份也處于市場領(lǐng)先地位。

據(jù)中國國際招標(biāo)網(wǎng)公開數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2020年，長江存儲通過招投標(biāo)方式采購的27臺去膠設(shè)備中，24臺由屹唐股份提供，所占份額達(dá)88.89%；華虹集團(tuán)通過招投標(biāo)方式采購的11臺去膠設(shè)備中，10臺由屹唐股份提供，占比達(dá)90.91%。

此外，AMAT本次同時起訴了一群幫助MTI “盜用”其商業(yè)秘密的不知名個人或公司。AMAT在訴狀中表示，其調(diào)查仍在進(jìn)行中。