半導體行業(yè)廢氣排放在線監(jiān)測系統(tǒng)中PID光離子氣體傳感器的應用

隨著信息時代的推進，半導體行業(yè)正在迅猛發(fā)展，為社會帶來了顯著的經濟效益和就業(yè)機會。然而，這一行業(yè)的快速發(fā)展也伴隨著對大氣的污染問題。由于半導體行業(yè)對操作室的清潔度要求極高，通常使用風機抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣，這使得半導體行業(yè)廢氣具有排放量大、排放濃度小的特點。

這些廢氣主要包括有機廢氣和酸堿廢氣兩類。其中，有機廢氣包括非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等；酸堿廢氣則包括氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。這些廢氣的來源主要是在芯片或線路板生產的清洗、均膠、去膠、刻蝕、顯影過程中產生的。

這些廢氣不僅對環(huán)境造成污染，而且對人們的健康也構成威脅。在半導體制造過程中，元器件組裝焊接、電路板等器件清洗等表面處理過程中使用的化學藥劑，如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有機鹵化物，會揮發(fā)成為污染氣體，如果這些氣體超標排放，可能會導致人群慢性或急性中毒。

為應對這一問題，我們需要對廢氣進行實時精準的檢測。一種解決方案是采用集成廢氣檢測系統(tǒng)，它可以實時采集和檢測廢氣的濃度等參數(shù)，一旦發(fā)現(xiàn)超標排放，可以快速預警。此外，結合網(wǎng)格化管理，可以實現(xiàn)企業(yè)廢氣檢測與監(jiān)管的高效聯(lián)動。這種系統(tǒng)廣泛應用于半導體制造、涂裝流水線、生物制藥、化工企業(yè)廢氣處理等領域。其監(jiān)測項目主要包括非甲烷總烴監(jiān)測、砷烷監(jiān)測、酸霧、硫化物、NOX、顆粒物監(jiān)測、氨氣監(jiān)測等。

在檢測原理方面，主要有PID光離子檢測方法和電化學檢測方法兩種。PID光離子氣體傳感器采用光離子電離氣體原理進行氣體檢測，適用于混合氣體中揮發(fā)性有機物總含量的測定。而電化學傳感器則是通過與被測氣體發(fā)生反應并產生與氣體濃度成正比的電信號來進行工作。

在設備選型方面，對于工藝排口的有機廢氣排口(包括VOC治理排口)，推薦使用PID在線監(jiān)測設備；對于無機廢氣排口，建議使用煙氣在線監(jiān)測設備；而對于非工藝排口，如呼吸閥、實驗室排放口、儲罐呼吸孔等，則可選用電化學傳感器監(jiān)測設備。

工采網(wǎng)代理的英國Alphasense光離子傳感器PID和電化學氣體傳感器是針對半導體制造業(yè)有毒廢氣監(jiān)測應用的專業(yè)級傳感器產品，傳感器具有靈敏度高，選擇性好，穩(wěn)定性好，濃度輸出線性好等優(yōu)點，可長時間穩(wěn)定持續(xù)監(jiān)測，可大大降低半導體制造業(yè)毒氣監(jiān)測成本，實現(xiàn)大范圍安裝應用，為半導體制造業(yè)毒氣監(jiān)測提供了切實可行的安全生產監(jiān)測解決方案。

Alphasense光離子傳感器PID是針對揮發(fā)性有機化合物的檢測和測量而設計的一款小型氣體傳感器，它適用于制造業(yè)、加工業(yè)這類典型的揮發(fā)性有機化合物高危場所以及環(huán)保監(jiān)測。

傳感器采用PID檢測技術對氣體環(huán)境中的VOCs濃度進行檢測，檢測結果更準確。傳感器量程選擇多，高靈敏度，使用壽命更長，且體積小巧，便于與各類氣體測量模組與擴展板集成，在氣體檢測儀制作設計方面有較大的使用空間。

在執(zhí)行標準方面，應遵循一系列國家和行業(yè)標準。這些標準涵蓋了爆炸性氣體環(huán)境電氣設備的要求、危險場所電氣安裝規(guī)范、有毒氣體檢測報警設計標準、作業(yè)場所環(huán)境氣體檢測報警儀通用技術要求等多個方面。此外，還應遵循大氣污染物綜合排放標準和固定污染源排放煙氣連續(xù)監(jiān)測系統(tǒng)技術要求及檢測方法等規(guī)定。

總的來說，半導體行業(yè)的廢氣處理是一個復雜而重要的議題。通過采用先進的檢測技術和設備，以及嚴格遵守相關標準和規(guī)定，我們可以有效減少廢氣對環(huán)境和健康的負面影響，推動半導體行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展。