國產(chǎn)65nm大角度離子注入機進入晶圓生產(chǎn)線

　　由北京中科信電子裝備有限公司自主研發(fā)的300mm/65nm大角度離子注入機進入中芯國際(北京)集成電路制造有限公司，開始接受國際主流生產(chǎn)線的技術(shù)測試與器件工藝檢驗，為這一國產(chǎn)集成電路制造裝備實現(xiàn)重大技術(shù)跨越作最后的沖刺。

　　據(jù)了解，這是國產(chǎn)高端離子注入機首次進入300mm主流生產(chǎn)線，表明國內(nèi)的離子注入機研制已經(jīng)逐步達到世界主流技術(shù)水平。

　　北京中科信公司研制的65nm大角度離子注入機以滿足大規(guī)模生產(chǎn)線65nm制程工藝需求為目標(biāo)，以提升產(chǎn)品工藝性能、整機可靠性及降低成本消耗為設(shè)計理念。在不到兩年的時間里，北京中科信電子裝備有限公司研發(fā)團隊成功突破了多項關(guān)鍵工藝，完成多項核心研究，實現(xiàn)了設(shè)備的工程化制造、關(guān)鍵零部件國產(chǎn)化，完善了系統(tǒng)設(shè)計、系統(tǒng)加工、系統(tǒng)集成流程，保證了設(shè)備的高可靠性及工藝水平。

　　長時間的系統(tǒng)的性能測試結(jié)果表明，整機生產(chǎn)率、控制精度、軟件可靠性、整機自動性能、工藝一致性等指標(biāo)都有了顯著提高，整機性能完全達到甚至部分已經(jīng)超過了項目合同要求，同時適應(yīng)國際300mm工藝生產(chǎn)線標(biāo)準(zhǔn)要求。

　　記者了解到，該設(shè)備具備先進工藝控制及故障診斷功能，出廠前已通過用戶基本技術(shù)指標(biāo)評估與硬件改進，其主要工藝性能及可靠性、穩(wěn)定性已取得令人滿意的效果。