Imec發(fā)布EUV掩膜缺陷評(píng)估方面的成果

　　Imec聯(lián)合合作伙伴發(fā)布兩份EUV掩膜評(píng)估結(jié)果，結(jié)果顯示EUV供應(yīng)商須在檢測(cè)掩膜缺陷能力方面進(jìn)行改善。并與Zeiss SMS合作通過(guò)實(shí)驗(yàn)演示了一項(xiàng)消除缺陷的補(bǔ)償技術(shù)。