AIXTRON推出世界上容量最大的MOCVD反應器

　　AIXTRON SE最新推出世界上最大容量的MOCVD反應器——CRIUS II-L MOCVD反應器，將MOCVD反應器的容量、生產能力和LED生產成本都提升到新的高度，具有生產16x4英寸或69x2英寸晶圓的能力。

　　AIXTRON公司表示，新的MOCVD反應器是基于經過市場驗證的CRIUS II平臺而開發(fā)的，可以保證高性能氮化鎵(GaN)LED生產過程的無縫遷移。

　　營銷副總裁Rainer Beccard表示，降低制造成本是LED產業(yè)的一個關鍵問題，尤其在固態(tài)照明產品中。與MOCVD相關的制造成本中，反應器的產能仍然是影響制造成本的關鍵因素。

　　據(jù)悉，CRIUS II-L經過生產驗證，確認是目前世界上最大的MOCVD反應器。另外，CRIUS II-L反應器還針對2-8英寸晶圓的生產進行了優(yōu)化設計，將大大提高生產力。