中微半導(dǎo)體設(shè)備制造暨研發(fā)中心啟用

　　中微半導(dǎo)體設(shè)備致力于設(shè)計(jì)及生產(chǎn)，用于12寸晶圓廠關(guān)鍵性設(shè)備的高科技公司。目前研發(fā)總部位于中國上海，并在臺灣、新加坡、日本、韓國等地設(shè)有服務(wù)據(jù)點(diǎn)。

　　中微半導(dǎo)體自主開發(fā)的12寸蝕刻機(jī)臺Primo-DRIE，已在全球成功打進(jìn)位于亞洲9家的客戶的12條晶片生產(chǎn)線，并順利量產(chǎn)了兩百多萬45及40奈米技術(shù)的晶圓，28奈米部分制程技術(shù)也通過了驗(yàn)證。其線寬均勻性已達(dá)到2奈米以下，并實(shí)現(xiàn)正負(fù)1%的重復(fù)性和穩(wěn)定性。中微半導(dǎo)體設(shè)備公司作為一家國際性公司，非常愿意在臺灣投資、生根，成為亞洲地區(qū)的研發(fā)、生產(chǎn)及制造基地，與客戶及供應(yīng)商一起深耕臺灣半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。

　　中微半導(dǎo)體成立于2004年，臺灣分公司于2007年登記成立，并于2010年底進(jìn)駐竹南科學(xué)園區(qū)。廠房建置自2011年2月開始進(jìn)行，于極短時(shí)間內(nèi)即完成廠內(nèi)無塵室設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)，并于5月下旬開始了第一臺十二寸蝕刻自有產(chǎn)品Primo-DRIE的組裝測試，預(yù)計(jì)于9月中即可正式出貨給臺灣重要的客戶。

　　2011年中微半導(dǎo)體已投入金額約1億元，完成臺灣生產(chǎn)線的設(shè)立，AMEC臺灣的產(chǎn)線不單單負(fù)責(zé)生產(chǎn)機(jī)臺，還涵蓋后端的組裝、測試，也就是說從臺灣工廠出貨的機(jī)臺，將可以直接運(yùn)送到客戶端作生產(chǎn)用，而不再需要運(yùn)到第三地作其他的加工或是測試。

　　未來將再投入2至3億元建立研發(fā)中心，和客戶以及本地的關(guān)鍵零組件廠商進(jìn)行共同研究開發(fā)，生產(chǎn)新一代的產(chǎn)品(CIP，Continuous Improvement Parts)，以帶動國內(nèi)科學(xué)園區(qū)的產(chǎn)值，更能藉由供應(yīng)練的在地化，增加就業(yè)機(jī)會。

　　中微還將于今年底舉行臺中分公司新址擴(kuò)大及啟用典禮，以提供中部客戶更即時(shí)的服務(wù)以及解決方案，屆時(shí)，竹南科學(xué)園區(qū)制造暨研發(fā)中心將同新竹分公司、臺南分公司、臺中分公司以及新竹和臺南物流中心一起，組成完整的研發(fā)、制造及服務(wù)鏈，為臺灣半導(dǎo)體客戶提供最好的服務(wù)。