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sp3向中國出貨首批熱燈絲化學氣相沉積反應器

—— 全球對化學氣相沉積金剛石技術及設備的需求與日俱增
作者: 時間:2012-05-03 來源:SEMI 收藏

  金剛石產品、沉積設備及相關服務的領先供應商 Diamond Technologies, Inc.()今日宣布已向中國出貨首批熱燈絲化學氣相沉積 (hot filament chemical vapor deposition , HF CVD) 反應器。過去的兩年至今, 已經出貨 17 臺熱燈絲金剛石,這說明全球對化學氣相沉積金剛石技術及設備的需求與日俱增。

本文引用地址:http://butianyuan.cn/article/131950.htm

  sp3 Diamond Technologies總裁兼首席運營官 Dwain Aidala 表示:“這次出貨是本公司憑借專業(yè)的金剛石技術進入中國市場的一個重要的里程碑。我們有能力滿足中國日益擴大的市場需求,也進一步證實了本公司金剛石沉積系統(tǒng)的高品質與高性能。我們不斷增長的出口表現(xiàn)也顯示出美國專業(yè)技術制造商仍有機會為國內經濟發(fā)展做出貢獻。”

  sp3 化學氣相沉積金剛石涂料已成功應用于各個行業(yè),包括非鐵材料加工的切割工具、耐磨應用、電極、化學機械拋光(CMP) 研磨墊整理器、半導體相關應用的晶片規(guī)模金剛石以及其他技術的相關運用。整體而言, sp3 已有超過 35 臺熱燈絲化學氣相沉積金剛石銷往全球各地。

  此次新客戶將訂購Model 655 反應器,用于切割工具應用。Model 655 系列的熱燈絲化學氣相沉積系統(tǒng)為生產納米晶或微晶金剛石薄膜提供了領先行業(yè)的解決方案,為生產應用提供了精確且可再使用的金剛石沉積。

  Aidala 補充:“在各種領域的應用,金剛石已被證明是符合成本效益的材料,我們可預期愈來愈廣泛的應用。作為美國金剛石沉積設備的領先制造商及出口商,中國的制造能力對本公司的長期發(fā)展戰(zhàn)略而言十分重要。”



關鍵詞: sp3 沉積反應器

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