基于π網(wǎng)絡(luò)零相位法的測量石英晶體靜電容方案設(shè)計

　　3.1 測試系統(tǒng)硬件設(shè)計

　　測試系統(tǒng)硬件框圖如圖4所示：

　　測試系統(tǒng)硬件由計算機(jī)、CPLD芯片、DDS信號源、π網(wǎng)絡(luò)、幅相檢測模塊和A/D轉(zhuǎn)換器組成。其中， CPLD、DDS、幅相檢測模塊和A/D轉(zhuǎn)換器集成在一塊PCI擴(kuò)展板上。作為控制核心的計算機(jī)通過PCI接口發(fā)出的地址和數(shù)據(jù)信號由CPLD芯片轉(zhuǎn)換為相應(yīng)的控制邏輯控制DDS、幅相檢測模塊和A/D轉(zhuǎn)換器工作。DDS信號源發(fā)出設(shè)定頻率、相位和幅值的信號激勵π網(wǎng)絡(luò)。π網(wǎng)絡(luò)上帶有插座，可插入晶體或電阻、電容等元器件。π網(wǎng)絡(luò)輸出的矢量電壓信號Vb接入幅相檢測模塊。幅相檢測模塊的輸出直流電壓輸入A/D轉(zhuǎn)換器，轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號后經(jīng)CPLD輸入計算機(jī)。

　　3.2 測試系統(tǒng)軟件設(shè)計

　　測試軟件采用Visual C＋＋語言編寫，實現(xiàn)人機(jī)交互界面、測量控制和數(shù)據(jù)處理的功能。測量控制包括對DDS各通道頻率、相位和幅度控制字的設(shè)置，以及對A/D轉(zhuǎn)換器內(nèi)部指令寄存器的寫入和轉(zhuǎn)換結(jié)果的讀取。數(shù)據(jù)處理部分主要是對已轉(zhuǎn)換為數(shù)字量的幅相檢測模塊的輸出直流電壓進(jìn)行計算，由前述關(guān)系得出靜電容的值。由于在實際測量條件下， 該直流電壓與Vb之間并不是嚴(yán)格的對數(shù)線性關(guān)系，所以需要對這一函數(shù)關(guān)系進(jìn)行擬合，根據(jù)擬合后的關(guān)系，可由直流電壓值計算出Vb，然后按照前面所列方程，得到靜電容C0的值。

　　4． 實驗數(shù)據(jù)與處理

　　以SA公司的250B作為標(biāo)準(zhǔn)儀器，將采用本方案所測得的C0值與250B的測量結(jié)果進(jìn)行比對，檢驗測量精度是否滿足工業(yè)生產(chǎn)要求。在工業(yè)生產(chǎn)中，要求石英晶體靜電容的測量范圍為1～10pF，測量誤差小于0.1pF。實驗數(shù)據(jù)如表1所示：

　　5．結(jié)論

　　在π網(wǎng)絡(luò)零相位法的基礎(chǔ)上，采用了“DDS激勵、π網(wǎng)絡(luò)響應(yīng)、幅相檢測計算容抗”的方法測量石英晶體的靜電容，并由此設(shè)計制作了實驗測量系統(tǒng)來實現(xiàn)該方案。該方法把測量石英晶體的靜電容和諧振頻率統(tǒng)一起來，簡化了測量電路。通過實際測量一批晶體和小電容，證明在1～10pF范圍內(nèi)測量誤差小于0.1pF,能滿足實際要求，可以在此基礎(chǔ)上開發(fā)實際的石英晶體中間測試系統(tǒng)。