KLA-Tencor宣布推出針對(duì)光學(xué)和EUV 空白光罩的全新FlashScanTM產(chǎn)品線

　　今天，KLA-Tencor公司宣布推出全新的FlashScanTM空白光罩*檢測(cè)產(chǎn)品線。自從1978年公司推出第一臺(tái)檢測(cè)系統(tǒng)以來(lái)，KLA-Tencor一直是圖案光罩檢測(cè)的主要供應(yīng)商，新的FlashScan產(chǎn)品線宣告公司進(jìn)入專用空白光罩的檢驗(yàn)市場(chǎng)。光罩坯件制造商需要針對(duì)空白光罩的檢測(cè)系統(tǒng)，用于工藝開(kāi)發(fā)和批量生產(chǎn)過(guò)程中的缺陷檢測(cè)，此外，光罩制造商(“光罩廠”)為了進(jìn)行光罩原料檢測(cè)，設(shè)備監(jiān)控和進(jìn)程控制也需要購(gòu)買(mǎi)該檢測(cè)系統(tǒng)。 FlashScan系統(tǒng)可以檢查針對(duì)光學(xué)或極紫外(EUV)光刻的空白光罩。

　　“先進(jìn)的光刻技術(shù)從表征良好的空白光罩開(kāi)始。” KLA-Tencor的光罩和寬帶等離子晶圓檢測(cè)部總經(jīng)理熊亞霖博士指出，“無(wú)缺陷的EUV光罩坯件極難制造，這不僅推高了生產(chǎn)成本，也推延了EUV光刻可能帶給新一代芯片制造的惠益。 我們?nèi)碌腇lashScan空白光罩檢測(cè)儀可以在裸基板，吸收膜和光阻涂層上捕獲各種類(lèi)型的缺陷。此外，對(duì)比目前市場(chǎng)上的其他系統(tǒng)， FlashScan系統(tǒng)具有更高的產(chǎn)量和靈敏度，這將縮短空白光罩制造商和光罩廠的學(xué)習(xí)周期時(shí)間。”

　　利用KLA-Tencor晶圓缺陷檢測(cè)系統(tǒng)的激光散射技術(shù)，F(xiàn)lashScan系統(tǒng)可以滿足目前所有正在開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)的光學(xué)與EUV空白光罩對(duì)于靈敏度和檢測(cè)速度要求。采用光罩檢測(cè)市場(chǎng)獨(dú)特的三通道數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以對(duì)各種類(lèi)型的光罩坯件的缺陷進(jìn)行檢測(cè)、尺寸測(cè)量和區(qū)分，例如在空白光罩制造或運(yùn)輸期間可能出現(xiàn)在光阻上的針孔和掉落顆粒。

　　領(lǐng)先的光罩廠對(duì)高靈敏度、高產(chǎn)量和全類(lèi)型的缺陷檢測(cè)系統(tǒng)顯示了濃厚的興趣，這證明了市場(chǎng)對(duì)該產(chǎn)品的需求。為了保證空白和圖案光罩制造商所需的優(yōu)異性能和產(chǎn)量，F(xiàn)lashScan系統(tǒng)由KLA-Tencor全球綜合服務(wù)網(wǎng)絡(luò)提供技術(shù)支持。有關(guān)新FlashScan產(chǎn)品系列的更多信息(包括當(dāng)前型號(hào)的說(shuō)明)請(qǐng)查閱FlashScan的網(wǎng)頁(yè)。