清華大學(xué)院士工作站落戶蚌埠 加強(qiáng)MEMS行業(yè)研究應(yīng)用

　　11月10日上午，在中國(guó)MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))傳感器暨集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展高峰論壇上，清華大學(xué)副校長(zhǎng)、中科院尤政院士和中國(guó)兵器工業(yè)第二一四研究所共同為清華大學(xué)院士工作站揭牌，至此，清華大學(xué)院士工作站首次正式落戶我省蚌埠中國(guó)兵器二一四研究所。

　　新安晚報(bào)、安徽網(wǎng)、大皖客戶端記者獲悉，此次合作的目的是加強(qiáng)雙方在MEMS相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)研究和應(yīng)用，實(shí)現(xiàn)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)結(jié)合，以國(guó)際上同行業(yè)先進(jìn)技術(shù)為標(biāo)桿，創(chuàng)新成果擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，做到技術(shù)水平達(dá)國(guó)際先進(jìn)、國(guó)內(nèi)領(lǐng)先，同時(shí)培養(yǎng)高素質(zhì)人才，推動(dòng)行業(yè)整體技術(shù)水平提高。

　　院士工作站將開(kāi)展MEMS技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，進(jìn)行包括高精度大量程MEMS慣性器件的設(shè)計(jì)研究、低應(yīng)力MEMS制造工藝及工藝一致性研究、低功耗高信噪比慣性器件配套ASIC電路設(shè)計(jì)研究、異質(zhì)材料的低應(yīng)力高密度集成封裝技術(shù)研究、大批量高精度MEMS器件晶圓級(jí)測(cè)試技術(shù)、基于多MEMS傳感器數(shù)據(jù)的導(dǎo)航定位算法研究在內(nèi)的多項(xiàng)研究工作，并計(jì)劃在相關(guān)領(lǐng)域申請(qǐng)多項(xiàng)國(guó)家專利，實(shí)現(xiàn)MEMS技術(shù)的領(lǐng)先地位。

　　清華大學(xué)院士工作站的建立不僅利用專家、專業(yè)知識(shí)為中國(guó)兵器工業(yè)搭建了技術(shù)創(chuàng)新的服務(wù)平臺(tái)，提升了技術(shù)合作的質(zhì)量和效率，也同時(shí)為蚌埠工業(yè)技術(shù)水平的提升做出了巨大的貢獻(xiàn)，更是強(qiáng)有力地推動(dòng)了我省及國(guó)家科技發(fā)展，實(shí)現(xiàn)了專家、企業(yè)的共贏。