KLA-Tencor：制程控制在源頭 助力客戶實現(xiàn)更大生產(chǎn)價值

　　隨著技術(shù)的進步發(fā)展，制程的步驟越來越多，工藝也更加復(fù)雜化。如采用多重圖形技術(shù)的制程則為達到1000多道，而工藝窗口的挑戰(zhàn)則要求幾乎是“零缺陷”，這就對工藝控制水平提出了更高的要求。制造過程中任何細小的錯誤都將導(dǎo)致重新流片，而其代價將會很大，因此在制造過程中，檢測和量測變得越來越重要，越早發(fā)現(xiàn)問題所在，可挽回的損失越大。全球領(lǐng)先的工藝控制及良率管理解決方案的設(shè)備供應(yīng)商KLA-Tencor其產(chǎn)品線涵蓋了半導(dǎo)體制程的各個環(huán)節(jié)和技術(shù)節(jié)點，包括晶圓表面缺陷、光罩、薄膜等，也同時提供數(shù)據(jù)的分析和儲存。在其它領(lǐng)域，如高亮度LED、MEMS、功率器件等，KLA-Tencor也為客戶提供了大量的先進技術(shù)和機臺。 KLA-Tencor客戶互動副總Mark Shirey表示 “更先進的技術(shù)節(jié)點意味著更大的研發(fā)投入，而隨著成本的增加良率的提升就顯得尤為重要，良率與成本需要達到平衡。同時要盡量縮短從研發(fā)到上線，再到最終產(chǎn)品的周期。 KLA-Tencor一直致力于幫助客戶加快產(chǎn)品開發(fā)周期，從而降低成本。KLA-Tencor也與客戶通過緊密合作，當客戶在生產(chǎn)和研發(fā)過程中遇到新的挑戰(zhàn)時，KLA-Tencor的工程師都會在第一時間了解到客戶的需求，并借助自身強大的技術(shù)能力幫助客戶解決難題，最終實現(xiàn)和客戶共同進步”

　　對于先進制程，如7nm和5nm等設(shè)計節(jié)點，芯片制造商想要找到產(chǎn)品上的疊對誤差、線寬尺寸不均勻和易失效點(Hotspots)的明確起因?qū)⒆兊迷絹碓嚼щy。KLA-Tencor最近就推出了5款圖案成型控制系統(tǒng)，主要針對7nm以下的邏輯和尖端內(nèi)存設(shè)計節(jié)點設(shè)計，以幫助芯片制造商實現(xiàn)多重曝光技術(shù)和EUV光刻所需的嚴格工藝寬容度。這五款產(chǎn)品分別為ATL疊對良測系統(tǒng)和SpectraFilm? F1薄膜量測系統(tǒng)，他們可以針對FinFET、DRAM、3D NAND和其他復(fù)雜器件結(jié)構(gòu)的制造提供工藝表征分析和偏移監(jiān)控。Teron? 640e光罩檢測產(chǎn)品系列和LMS IPRO7光罩疊對位準量測系統(tǒng)可以協(xié)助掩模廠開發(fā)和認證EUV和先進的光學光罩。5D Analyzer? X1先進數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)提供開放架構(gòu)的基礎(chǔ)，以支持晶圓廠量身定制分析和實時工藝控制的應(yīng)用。Mark Shirey表示：“這五款系統(tǒng)將為我們的客戶提供KLA-Tencor最尖端的技術(shù)，幫助他們降低由每個晶圓、光罩和工藝步驟所導(dǎo)致的圖案成型誤差，從制程的源頭進行控制，及早發(fā)現(xiàn)錯誤，避免造成更大的損失?！?/p>

　　KLA-Tencor的產(chǎn)品線涵蓋了半導(dǎo)體制程的各個環(huán)節(jié)和技術(shù)節(jié)點

　　此外，隨著近幾年中國政府對發(fā)展半導(dǎo)體行業(yè)的大力投資，中國的半導(dǎo)體行業(yè)呈現(xiàn)欣欣向榮的局面。很多國際廠商也逐漸意識到中國市場的重要性，紛紛投資中國市場。KLA-Tencor也不外如是，也不斷加大在中國的投資。目前，KLA-Tencor在中國已經(jīng)設(shè)立了10處辦公室，近期又擴展了其位于北京的辦公室，希望能快速、及時地支持本地客戶的需求 。而且，KLA-Tencor近期還上線了其中文網(wǎng)站(www.kla-tencor.cn),該網(wǎng)站將同步KLA-Tencor的美國網(wǎng)站，定期更新各類最新的功能以及技術(shù)信息，以更好服務(wù)中國的客戶。KLA-Tencor 中國區(qū)總裁張智安表示“隨著中國半導(dǎo)體市場的加速發(fā)展，它的地位也變得舉足輕重，將來會是兵家必爭之地。中國有很多對于我們很重要的客戶， 我們希望能與他們保持密切的合作關(guān)系，為他們提供所需的技術(shù)支持和服務(wù)。今后，我們會持續(xù)投入中國市場。全力支持中國半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展。我們相信未來的中國市場會有很好的發(fā)展前景，中國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正在向好的方向發(fā)展”

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