北方華創(chuàng)有望搶占14nm工藝設(shè)備市場，6款12吋設(shè)備進(jìn)入客戶端

　　據(jù)SEMI China預(yù)計(jì)，2017 年全球半導(dǎo)體設(shè)備規(guī)模增長19.8%達(dá)494 億美元，首次超過2000 年的477 億美元，并預(yù)測2018 年增長至532億美元，屆時(shí)中國半導(dǎo)體設(shè)備有望以110 億美元銷售額躍居第二，占據(jù)全球61.4%市場份額，形成以韓國、臺灣、中國為主的競爭格局，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備呈現(xiàn)加速替代的趨勢。而作為國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備的龍頭企業(yè)之一，北方華創(chuàng)正受益于國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢快速發(fā)展。

　　近日，北方華創(chuàng)接受逾20家機(jī)構(gòu)投資者調(diào)研時(shí)表示，集成電路制造產(chǎn)線的投入主要由擴(kuò)產(chǎn)規(guī)模決定，以12吋集成電路制造產(chǎn)線大致為月產(chǎn)1千片/1億美元為例，其中70%是設(shè)備投資，30%是基建投入。根據(jù)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，設(shè)備投資中刻蝕機(jī)占21%，CVD設(shè)備占15%，清洗設(shè)備占8%，PVD占5%，熱處理設(shè)備占3%。

　　北方華創(chuàng)稱，目前已有多家集成電路制造廠商公布了擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃，如中芯國際已公布上海月產(chǎn)7萬片、深圳月產(chǎn)4萬片、天津月產(chǎn)10萬片等的擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃，長江存儲公布了總計(jì)30萬片的擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃，華力微電子也公布了月產(chǎn)4萬片的擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃，未來公司將根據(jù)客戶的實(shí)際建設(shè)進(jìn)度，積極爭取相關(guān)設(shè)備訂單。

　　作為國家02 重大科技專項(xiàng)承擔(dān)單位，北方華創(chuàng)憑借深厚的技術(shù)積累與開發(fā)填補(bǔ)了我國半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的多項(xiàng)空白，目前北方華創(chuàng)的12吋28nm制程的刻蝕機(jī)、PVD、立式氧化爐、清洗機(jī)、LPCVD等設(shè)備已處于產(chǎn)業(yè)化初期階段，相關(guān)產(chǎn)品已交付客戶，同時(shí)已有6款12吋14nm制程設(shè)備進(jìn)入客戶端開展工藝研發(fā)，其主要客戶為中芯國際、武漢新芯、三安光電、華燦光電、京東方、樂葉光伏、晶澳太陽能等。

　　北方華創(chuàng)表示，公司28nm Hardmask PVD、AI-Pad PVD設(shè)備率先打入國際供應(yīng)鏈，28nm PVD 已經(jīng)成為中芯國際的baseline 機(jī)臺，12 英寸清洗機(jī)累計(jì)流片量已突破60 萬片，PVD 機(jī)臺已成為全球排名前三的CIS 封裝企業(yè)的首選機(jī)臺。在LED 領(lǐng)域，北方華創(chuàng)的氮化鎵刻蝕機(jī)、PSS 刻蝕機(jī)、AlN 緩沖層濺射設(shè)備、EPEE550 系列PECVD 等表現(xiàn)搶眼，訂單有了大幅度的增長。

　　據(jù)了解，北方華創(chuàng)生產(chǎn)的刻蝕設(shè)備、PVD、LPCVD、氧化爐等已經(jīng)成功進(jìn)入中芯國際12寸生產(chǎn)線，清洗機(jī)和傳送設(shè)備已經(jīng)進(jìn)入京東方8.5代線。此外，北方華創(chuàng)已有6款14nm工藝設(shè)備交付客戶驗(yàn)證，有望搶占14nm工藝設(shè)備市場。值得提及的是，今年北方華創(chuàng)硅單晶爐設(shè)備累計(jì)獲得訂單及中標(biāo)金額逾10 億元，并首次進(jìn)入臺灣市場，新型號真空釬焊爐實(shí)現(xiàn)了對歐盟出口。