胡正明：技術(shù)創(chuàng)新可能讓半導(dǎo)體晶體管密度再增加1000倍

　　“半導(dǎo)體市場(chǎng)正在經(jīng)歷由技術(shù)推動(dòng)到需求推動(dòng)的轉(zhuǎn)變。而半導(dǎo)體技術(shù)上的創(chuàng)新，可能讓半導(dǎo)體晶體管密度再增加1000倍，仍有巨大空間?！苯?，美國(guó)加州大學(xué)伯克利分校教授、國(guó)際微電子學(xué)家胡正明在接受集微網(wǎng)采訪時(shí)表示。

　　自1965年摩爾定律提出以來(lái)，歷經(jīng)半個(gè)多世紀(jì)的發(fā)展，如今越來(lái)越遭遇挑戰(zhàn)，特別是新世紀(jì)以來(lái)，每隔十年，摩爾定律以及半導(dǎo)體的微型化似乎便會(huì)遭遇到可能終止的危機(jī)。

　　胡正明發(fā)明了鰭型晶體管(FinFET)以及「全耗盡型絕緣層上硅晶體管」(FD-SOI)，兩大革命性創(chuàng)新為半導(dǎo)體帶來(lái)新契機(jī)。 2011年5月英特爾宣布使用FinFET技術(shù)，包括臺(tái)積電、三星、蘋果也都陸續(xù)采用FinFET，開(kāi)創(chuàng)了摩爾定律被唱衰后的新契機(jī)。

　　目前，臺(tái)積電宣布7納米進(jìn)入量產(chǎn)，預(yù)計(jì)在2019上半年展開(kāi)5納米制程風(fēng)險(xiǎn)試產(chǎn)，對(duì)于產(chǎn)業(yè)走到5納米，胡正明表示，5納米未必代表著極限。但要接受“物理極限”的客觀存在，在以往的技術(shù)中，可以通過(guò)測(cè)量線寬的方式去直觀的理解，但當(dāng)工藝技術(shù)走進(jìn)14nm、10nm、7nm，線寬已然成為了一個(gè)標(biāo)簽。

　　“因?yàn)檎嬲哪康氖且獙?shí)現(xiàn)速度、性能增加和功耗、成本減少，所以推進(jìn)半導(dǎo)體微型化不一定是要減少尺寸，比如存儲(chǔ)器已經(jīng)往三維方向演進(jìn)?！焙髡f(shuō)。

　　在降低功耗方面，胡正明表示，通過(guò)負(fù)電容晶體管設(shè)計(jì)的引進(jìn)，會(huì)將CMOS的電壓降低至0.4V、0.3V，甚至0.2V。因?yàn)樨?fù)電容器件(鐵電材料)的引進(jìn)，在不同機(jī)制下可能會(huì)帶來(lái)速度限制的問(wèn)題，但胡正明教授指出，到目前為止，它的限制還不會(huì)高過(guò)半導(dǎo)體晶體管的速度。

　　胡正明認(rèn)為，正如同三維堆疊可以降低成本和增加密度，推動(dòng)3D NAND閃存成為主流，堆疊的二維半導(dǎo)體電路也是較好的實(shí)現(xiàn)方式。

　　二維半導(dǎo)體只有2—3個(gè)原子的厚度，不需要人工打磨。而他與伯克利研究團(tuán)隊(duì)做的工作，首先是可以讓二維的半導(dǎo)體長(zhǎng)在垂直的鰭式晶體管的結(jié)構(gòu)上，即二維半導(dǎo)體可以用來(lái)蓋“高樓”;第二，可以讓二維半導(dǎo)體長(zhǎng)在大面積的晶圓上，讓它覆蓋了垂直薄膜的晶體管，同時(shí)可以在一片芯片上做兩層、三層甚至更多層的電路;第三，用二維半導(dǎo)體制作的晶體管，可以把晶體管的三極縮小到1納米的寬度。

　　在胡正明看來(lái)，半導(dǎo)體微型化的進(jìn)程將會(huì)減慢，一方面因?yàn)樵拥某叽绻潭?，?huì)達(dá)到物理極限;另一方面，光刻和其他制造技術(shù)變得越來(lái)越昂貴。但創(chuàng)新永遠(yuǎn)是行業(yè)的主題，通過(guò)創(chuàng)新技術(shù)，逐漸引入新材料，對(duì)于成本、功耗和性能將會(huì)持續(xù)改善。