我國“超級針”X射線成像系統(tǒng)成功實(shí)現(xiàn)自主研制

　　近日，中國電科38所發(fā)布自主研制的新一代無損檢測設(shè)備——“超級針”X射線成像系統(tǒng)，這是全國首臺“超級針”X射線成像系統(tǒng)。該系統(tǒng)擁有“火眼金睛”般的缺陷檢測能力，成像分辨率小于1微米。

　　隨著集成電路向高集成度、微型化方向發(fā)展，先進(jìn)封裝工藝對封裝檢測設(shè)備提出新的需求和挑戰(zhàn)。一方面，更精細(xì)的封裝尺度要求設(shè)備分辨率提升至亞微米級，但目前國際上可生產(chǎn)亞微米級分辨率設(shè)備的廠商屈指可數(shù);另一方面，隨著芯片制造及封裝過程中越來越多地使用硅、鋁、銅、陶瓷等輕元素材料，對輕元素材料的檢測需求日益凸顯，對設(shè)備檢測范圍提出了更高要求。因此，更高分辨率、更高對比度、更大檢測范圍的X射線檢測設(shè)備，已成為集成電路封裝檢測行業(yè)發(fā)展的迫切需要。

　　微焦點(diǎn)X射線成像系統(tǒng)是工業(yè)無損檢測的常規(guī)必備設(shè)備，廣泛應(yīng)用于集成電路、電子器件等各種器材的無損檢測，能夠觀察物體內(nèi)部的精細(xì)結(jié)構(gòu)，其中X射線源的性能則直接決定了此類設(shè)備的檢測能力。超級針是一種理論上的最佳電子源。

　　2011年，中國電科38所首次提出將超級針應(yīng)用于微焦點(diǎn)X射線源的開發(fā)。經(jīng)過近十年的技術(shù)攻關(guān)，超級針X射線成像系統(tǒng)最終順利問世。目前，中國電科38所針對該產(chǎn)品已申請30余項(xiàng)國內(nèi)外發(fā)明專利，其中申請美、日、歐等國際專利12項(xiàng)。

　　“超級針”X射線成像系統(tǒng)采用獨(dú)特的“超級針”X射線源專利技術(shù)，可在圖像增強(qiáng)器上形成被掃描物體的透視圖像。該設(shè)備采用全國首創(chuàng)的“超級針”X射線源，因而以“超級針”冠名，具有成像清晰、性能穩(wěn)定、潔凈度高、超低輻射、低能成像等優(yōu)點(diǎn)。

　　中國電科38所相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，基于超級針X射線源技術(shù)，可面向集成電路、軍工航天、汽車電子、醫(yī)療診斷等不同應(yīng)用領(lǐng)域，開發(fā)系列超級針X射線成像設(shè)備，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品系列化、多樣化開發(fā)，未來具有較大發(fā)展前景。