北京加快突破光刻機“卡脖子”難題

我國正加速實現(xiàn)中高端光刻機的國產(chǎn)化。近日，亦莊企業(yè)北京國望光學(xué)科技有限公司增資項目在北京產(chǎn)權(quán)交易所完成。通過此次增資，國望光學(xué)引入中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所和中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所作為戰(zhàn)略投資者，兩家機構(gòu)以無形資產(chǎn)作價10億元入股，對應(yīng)持股比例為33.33%。這意味著北京在推動國產(chǎn)光刻機核心部件生產(chǎn)方面邁出實質(zhì)性步伐，將加快突破國產(chǎn)中高端光刻機制造“卡脖子”技術(shù)難題。

光刻機作為集成電路制造中最關(guān)鍵的設(shè)備，對芯片制作工藝有著決定性的影響，被譽為“超精密制造技術(shù)皇冠上的明珠”，制造和維護均需要高度的光學(xué)和電子工業(yè)基礎(chǔ)。光刻機工作原理跟照相機類似，不過它的底片是涂滿光刻膠的硅片，各種電路圖案經(jīng)激光縮微投影曝光到光刻膠上，光刻膠的曝光部分與硅片進行反應(yīng)，將其永久刻在硅片上，這就是芯片生產(chǎn)最重要的步驟。由于制造光刻機具有極高的技術(shù)和資金門檻，目前全球光刻機市場基本被荷蘭的阿斯麥、日本的尼康和佳能三家企業(yè)壟斷。

國望光學(xué)2018年6月落戶北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)，是北京亦莊國際投資發(fā)展有限公司的全資子公司，注冊資本20億元，主營業(yè)務(wù)為光刻機核心部件生產(chǎn)。

“國產(chǎn)光刻機制作工藝和全球頂尖工藝還有一定差距，國望光學(xué)的成立就是要推動國產(chǎn)中高端光刻機整機研發(fā)和量產(chǎn)。”亦莊國投相關(guān)負責(zé)人說，此次通過北交所增資就是要尋找技術(shù)實力一流的戰(zhàn)略投資方。