新型抗總劑量輻照高壓LDMOS結(jié)構(gòu)

　　馮垚榮（電子科技大學(xué)，四川 成都 610054）

　　摘?要：通過分析低壓MOS中存在的漏電路徑，針對高壓LDMOS面積大，最小寬長比有限制的特點，提出了一種更加適用于高壓LDMOS的新型抗總劑量輻照結(jié)構(gòu)。器件仿真結(jié)果顯示，新結(jié)構(gòu)在實現(xiàn)500 krad(Si)的抗輻照能力，并且新結(jié)構(gòu)不會增加面積消耗，與現(xiàn)有工藝完全兼容。

　　關(guān)鍵詞：總劑量效應(yīng)；高壓LDMOS；抗輻照加固；輻射致漏電路徑

　　0 引言

　　LDMOS(橫向擴(kuò)散金屬氧化物半導(dǎo)體)相比普通的MOSFET具有高耐壓、高增益等優(yōu)點，被廣泛應(yīng)用于各種電源管理電路中。高壓LDMOS在芯片中要占到1/3更多的面積，所以說LDMOS的性能好壞對于電源管理電路至關(guān)重要。在太空等特種應(yīng)用環(huán)境中，高能粒子長期作用于MOSFET會使其電特性發(fā)生改變，具體表現(xiàn)為閾值電壓漂移，關(guān)態(tài)漏電流增大，遷移率下降等性能退化。這些改變將顯著影響電子設(shè)備的壽命，導(dǎo)致其功耗增大，甚至功能失效，這就是總劑量效應(yīng)。由于電源電路功能的特殊性，無法像數(shù)字電路那樣，采用冗余設(shè)計的方法實現(xiàn)抗輻照功能，這就要求電路本身，尤其是LDMOS必須具備抗輻照的功能 ^[1] 。目前國內(nèi)外對于LDMOS抗輻照設(shè)計的研究，特別是600 V以上的高壓LDMOS的研究還比較少，大多還停留在沿用低壓MOS抗輻照設(shè)計方案的階段 ^[2-3] 。

　　1 總劑量效應(yīng)機(jī)理及輻照導(dǎo)致的寄生漏電路徑

　　1.1 總劑量效應(yīng)的機(jī)理簡介

　　總劑量效應(yīng)是輻照致電路失效的一種長期機(jī)制，它主要作用于MOSFET中的氧化物部分。其機(jī)理可以簡述為：高能粒子的轟擊使MOSFET氧化層中產(chǎn)生電子-空穴對，由于電子與空穴遷移率的差異，在偏壓的作用下，電子很快就被掃出氧化層；而空穴則被緩慢的輸運到氧化物/體硅界面，輸運過程中空穴若被氧化物中的空穴陷阱俘獲就會形成氧化層陷阱電荷，隨著輻照總劑量的增加，這些陷阱電荷的數(shù)量也越來越多，其最終的結(jié)果就是在氧化層內(nèi)部以及氧化物/體硅界面產(chǎn)生凈的正電荷，導(dǎo)致MOSFET的閾值電壓漂移和關(guān)態(tài)漏電流增大 ^[4] ?？倓┝啃?yīng)在MOSFET氧化層的體內(nèi)和氧化物/體硅界面產(chǎn)生凈的正電荷，因此N型MOSFET對總劑量效應(yīng)更為敏感，接下來都只討論NMOS中的總劑量效應(yīng)。

　　1.2 普通低壓NMOS中的寄生漏電路徑與抗總劑量輻照設(shè)計

　　總劑量效應(yīng)導(dǎo)致MOSFET閾值電壓漂移和關(guān)態(tài)漏電流增大，其本質(zhì)是氧化層固定正電荷積累到一定程度，使下方的p型層發(fā)生了反型，形成了無法關(guān)斷的寄生漏電通路，對于普通低壓NMOS，存在如圖1所示的兩種可能存在的漏電路徑。第一種源漏間的漏電路徑如圖1(a)的箭頭所示，它產(chǎn)生在MOSFET的有源區(qū)與場區(qū)交界的溝道處，固定電荷導(dǎo)致交界處的溝道反型，形成寄生溝道，當(dāng)NMOS源漏有偏壓存在時，即使柵壓低于閾值電壓也會有電流產(chǎn)生；第二種晶體管間的漏電路徑如圖1(b)的箭頭所示，它產(chǎn)生在兩個晶體管之間，輻照使場氧失去了隔離作用，在NMOS的源/漏與PMOS的N阱之間形成了寄生導(dǎo)電路徑，PMOS的N阱一般固定接較高的電位，會使漏電一直存在 ^[4] 。

　　普通NMOS的抗總劑量設(shè)計普遍采用環(huán)柵版圖結(jié)構(gòu)，環(huán)柵結(jié)構(gòu)將導(dǎo)電溝道與場氧區(qū)完全分開，因此完全避免了源漏間漏電通路的產(chǎn)生。環(huán)柵結(jié)構(gòu)被證明有著良好的抗總劑量效果 ^[5-7] ，但是環(huán)柵版圖設(shè)計也存在著諸如器件面積大，寬長比無法自由選取等缺點。

　　1.3 高壓LDMOS中的寄生漏電路徑

　　如圖2所示的是一種典型的高壓NLDMOS的剖面圖，比較圖1可以直觀地看出高壓LDMOS與傳統(tǒng)MOS的最大不同在于多出了一個漂移區(qū)的結(jié)構(gòu)，這個結(jié)構(gòu)主要起到提升器件耐壓的作用，而就是這個差異給高壓LDMOS的抗總劑量設(shè)計帶來了很大不同。高壓LDMOS在電路中要承受600 V甚至更高的電壓，所以漂移區(qū)面積必須做得很大，進(jìn)而導(dǎo)致高壓LDMOS的面積占到這個芯片面積的1/3以上。本身面積巨大，再改為環(huán)柵設(shè)計，所帶來的成本提升可能無法接受，我們將在后文中分析這個面積提升究竟有多大。

　　相比低壓MOS，高壓LDMOS還有兩點不同之處：一是LDMOS的柵氧要比低壓MOS厚，因此LDMOS的柵氧對總劑量效應(yīng)更加敏感，但同時LDMOS的閾值也較低壓MOS高，因此可接受的閾值漂移的量也更大。對于要求較高的設(shè)計我們可以采用在柵氧生長時摻氟等工藝來提升柵氧的抗總劑量能力 ^[8] 。二是高壓LDMOS并不存在上文所述的第二種漏電路徑，為了防止施加在LDMOS上的高壓對相鄰器件造成串?dāng)_，會在LDMOS的四周加上一圈P+隔離環(huán)，這個隔離環(huán)恰好也能起到杜絕管間漏電路徑產(chǎn)生的作用。通過以上的分析我們可知，高壓LDMOS本身的面積已經(jīng)很大，因此不適合采用傳統(tǒng)的環(huán)柵結(jié)構(gòu)實現(xiàn)抗輻照功能，也不存在第二種漏電路徑，所以我們在設(shè)計使用與高壓LDMOS的抗輻照結(jié)構(gòu)時，應(yīng)該著眼于消除源漏間的漏電通路。

　　1.4 新型抗總劑量輻照高壓LDMOS結(jié)構(gòu)

　　根據(jù)前面所做的對比和分析，本文提出了一種新型抗總劑量輻照高壓LDMOS結(jié)構(gòu)，在消除源漏間漏電通路的同時，相比原LDMOS結(jié)構(gòu)面積沒有任何增加。圖3是新型抗總劑量輻照高壓LDMOS結(jié)構(gòu)（以下簡稱新結(jié)構(gòu)）與普通高壓LDMOS結(jié)構(gòu)的對比圖，從圖中可以看到，新結(jié)構(gòu)將傳統(tǒng)LDMOS的有源區(qū)和P-body的P+接觸向外延長。向外延長的有源區(qū)使得場氧遠(yuǎn)離LDMOS的溝道區(qū)，多出的P+摻雜區(qū)域向外橫向擴(kuò)散，使得同等輻照劑量下場氧下的襯底不發(fā)生反型，從而避免了源漏間漏電通路的產(chǎn)生。

　　表1列出了相同等效寬長比條件下，傳統(tǒng)、環(huán)柵結(jié)構(gòu)和新型結(jié)構(gòu)高壓LDMOS的面積比較。三種結(jié)構(gòu)的面積均是參考國內(nèi)某高壓BCD工藝平臺的設(shè)計規(guī)則給出，其中環(huán)柵等效寬長比計算用的是（W ₁ +W ₂ ）/2的公式 ^[9] ，從表中可以看出環(huán)柵結(jié)構(gòu)的面積是其他兩種結(jié)構(gòu)面積的7.5倍多，前面提到高壓LDMOS在芯片中占到芯片總面積的1/3以上，照這個比例估算，如果采用環(huán)柵結(jié)構(gòu)，芯片面積會在傳統(tǒng)設(shè)計的基礎(chǔ)上增加218%，這會大大增加電路的成本，甚至可能導(dǎo)致芯片無法采用原本的封裝方案。反觀新結(jié)構(gòu)就完全不存在這方面的問題，新結(jié)構(gòu)相比傳統(tǒng)LDMOS結(jié)構(gòu)，面積完全沒有增加，而且不增加新的掩膜版，可以與現(xiàn)有的工藝完全兼容，不改變原有器件的耐壓結(jié)構(gòu)，不會造成生產(chǎn)成本的增加。

　　2 新結(jié)構(gòu)抗輻照能力仿真驗證

　　2.1 仿真策略

　　本文通過Synopsys公司的Sentaurus TCAD軟件對新結(jié)構(gòu)的抗輻照功能進(jìn)行仿真驗證，使用軟件自帶的Insulator Fixed Charge模型，在材料交界面設(shè)置固定正電荷來模擬總劑量效應(yīng)對MOSFET的作用，該仿真方法已經(jīng)被很多報道采用并驗證過其可行性 ^[10-11] 。要驗證新結(jié)構(gòu)是否確實能夠消除源漏間漏電路徑，必須進(jìn)行3D仿真，3D仿真本身計算量很大，加之LDMOS相比普通MOS尺寸巨大，經(jīng)過多次嘗試發(fā)現(xiàn)無法同時對整個LDMOS總劑量仿真。最終只選取LDMOS中受輻照影響會產(chǎn)生漏電通路的關(guān)鍵部分來進(jìn)行仿真，如圖4所示的就是本文最終建立的LDMOS仿真模型，從剖面圖可以看到其仍然包含LDMOS的所有關(guān)鍵結(jié)構(gòu)，因此不影響仿真結(jié)果的可信度。同樣出于減小計算量的考慮，我們只在圖4虛線框所示區(qū)域的Oxide/Si界面中加入固定電荷。固定電荷的密度參考文獻(xiàn) ^[12] ，其通過將仿真結(jié)果與實驗對比得知，2.93×10¹²/cm ² 的固定正電荷密度相當(dāng)于劑量為300 krad(Si)的γ射線輻照；3.26×10¹²/cm ²的固定正電荷密度相當(dāng)于劑量500 krad(Si)的γ射線輻照。本文仿真時共設(shè)置了8個不同固定電荷面密度，其中3.5×10 ¹⁰ /cm ² 的密度用以表征器件出廠自帶的正電荷，即未受輻照的情況，然后從0.5×10 ¹² /cm ² 開始，每隔0.5×10 ¹² /cm ² 的步長進(jìn)行一次仿真，一直仿真到3.5×10 ¹² /cm ² 的面密度，確保仿真所施加的最大劑量高于500 krad(Si)，而且可以觀察隨著劑量的增加，器件的性能是如何變化的。

　　2.2 仿真結(jié)果及分析

　　如圖5所示的是普通高壓LDMOS在不同電荷面密度下的轉(zhuǎn)移特性曲線的仿真結(jié)果，仿真施加的偏置條件為，Vds=0.1 V，Vb=Vs=0 V，Vg從-4 V掃描到10 V。從仿真結(jié)果我們可以看到隨著電荷密度的增加，LDMOS的關(guān)態(tài)漏電流也隨之增加，而且閾值電壓也隨之發(fā)生負(fù)向漂移，這與我們之前提到的源漏間漏電通路會同時造成關(guān)態(tài)漏電流增加和閾值電壓漂移的推論一致。未經(jīng)輻照加固設(shè)計的高壓LDMOS對總劑量效應(yīng)相當(dāng)敏感，僅在1.0×10 ¹² /cm ² 的電荷密度就表現(xiàn)出了明顯的漏電流增加，可見未加固的LDMOS其抗輻照能力遠(yuǎn)低于50 krad(Si)。而固定電荷密度增加到2.0×10 ¹² /cm ²以上時，關(guān)態(tài)漏電流幾乎已經(jīng)與開態(tài)電流相當(dāng)，此時器件已經(jīng)無法關(guān)閉完全失去功能。

　　如圖6所示的是本文提出的新型抗總劑量LDMOS在不同電荷面密度下的轉(zhuǎn)移特性曲線的仿真結(jié)果，仿真施加的偏置條件與普通LDMOS相同。從仿真結(jié)果我們可以看到，隨著電荷密度的增加，LDMOS的關(guān)態(tài)漏電流沒有明顯變化，閾值電壓也沒有發(fā)生漂移，8條轉(zhuǎn)移特性曲線幾乎重合到了一起。說明本文提出的新結(jié)構(gòu)很好地消除了源漏間的漏電路徑，加入抗輻照設(shè)計之后，LDMOS的抗輻照能力達(dá)到了500 krad(Si)以上。

　　3 結(jié)論

　　本文結(jié)合對普通MOS總劑量效應(yīng)的研究，分析了高壓LDMOS與普通MOS在抗輻照設(shè)計方面的差異，提出了一種更加適用于高壓LDMOS新型抗總劑量結(jié)構(gòu)，相比環(huán)柵結(jié)構(gòu)，其不增加器件版圖面積，不改變器件耐壓，寬長比可以按照普通LDMOS的規(guī)則選取，而且與現(xiàn)有的工藝完全兼容。通過仿真驗證，新結(jié)構(gòu)確實可以有效地消除LDMOS中的漏電路徑，實現(xiàn) 500 krad(Si)

　　以上的抗輻照能力。

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本文來源于科技期刊《電子產(chǎn)品世界》2019年第11期第58頁，歡迎您寫論文時引用，并注明出處。