傳日本光刻膠大廠JSR將在韓國建立ArF產(chǎn)線

韓媒報道，全球第一光刻膠大廠日本JSR計劃將在韓國青州建立一條生產(chǎn)用于ArF的光刻膠產(chǎn)線，用于供貨三星電子。

日本JSR公司是全球最大的光刻膠生產(chǎn)廠商，占全球市場24%份額。由于日本的出口管制政策，韓國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，特別是三星電子在努力推動半導(dǎo)體原材料的本地化及供應(yīng)量的多樣性、穩(wěn)定性，JSR自然不愿失去這一巨大的市場，因此推動在韓國本地建立產(chǎn)線，規(guī)避出口限令。

ArF光刻是存儲設(shè)備生產(chǎn)的主要手段，光刻膠是生產(chǎn)過程中不可缺少的材料，目前ArF光刻膠不受日本出口限令的限制，業(yè)內(nèi)人士預(yù)計其主要目標(biāo)是生產(chǎn)受出口限制的EUV光刻膠。

業(yè)內(nèi)人士表示，日本JSR的投資計劃已經(jīng)與三星電子共享，但是還未下達最終決策。