北京首條MEMS芯片生產(chǎn)線投產(chǎn)

記者近日從經(jīng)開區(qū)獲悉，亦莊企業(yè)賽微電子公司控股子公司投資建設(shè)的“8英寸MEMS國際代工線建設(shè)項目”正式通線投產(chǎn)運行，產(chǎn)能為1萬片/月。這也標(biāo)志著北京首條商業(yè)量產(chǎn)、全球業(yè)界最先進(jìn)的8英寸MEMS芯片生產(chǎn)線進(jìn)入實際生產(chǎn)階段。據(jù)了解，該項目分期建設(shè)，最終完全達(dá)產(chǎn)后將形成3萬片/月的生產(chǎn)能力。

“大家熟悉的生產(chǎn)線側(cè)重二維空間，不斷讓芯片變得更小；而MEMS屬于集成電路特色工藝，聚焦的是三維空間，芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)也縮小至納米量級，格外考驗芯片制造實力?！?a class="contentlabel" href="http://butianyuan.cn/news/listbylabel/label/賽微電子">賽微電子董事長楊云春介紹。微機電系統(tǒng)（MEMS）是指用微機械加工技術(shù)制作的包括微傳感器、微致動器、微能源等微機械基本部分，以及高性能的電子集成線路組成的微機電器件與裝置。

業(yè)內(nèi)認(rèn)為，MEMS傳感器作為國際競爭戰(zhàn)略的重要標(biāo)志性產(chǎn)業(yè)，以其技術(shù)難度高、特色工藝性強，市場前景廣闊等特點備受世界各國的關(guān)注?；趯κ袌鲂枨笄熬凹皣鴥?nèi)產(chǎn)業(yè)鏈現(xiàn)狀的判斷，賽微電子在經(jīng)開區(qū)、相關(guān)基金等多方支持下，于2016年全資收購瑞典Silex。

“這代生產(chǎn)線是復(fù)刻了瑞典Silex的生產(chǎn)線，1萬片的產(chǎn)能大概能貢獻(xiàn)約8億元營收，同時對凈利潤也將有積極貢獻(xiàn)。”賽微電子董事、副總兼董秘張阿斌表示。

進(jìn)入5G時代，下游的人工智能、萬物互聯(lián)等對傳感器的需求將迎來井噴式的增長。MEMS傳感器能夠以集成電路的方式來生產(chǎn)，將進(jìn)一步推動傳感器革命，并大幅降低成本。

“目前這個行業(yè)的主要矛盾就是合格產(chǎn)能供應(yīng)不足，根據(jù)對市場需求的判斷，公司計劃在未來繼續(xù)擴充的第四條、第五條生產(chǎn)線也會快速跟進(jìn)，目前在做的定增就是為后面的積極擴產(chǎn)籌集資金。”張阿斌表示。

記者獲悉，新生產(chǎn)線投產(chǎn)后，賽微電子將同時在瑞典和中國兩地?fù)碛?英寸MEMS生產(chǎn)線。經(jīng)開區(qū)方面透露，而北京生產(chǎn)線更是可以提供標(biāo)準(zhǔn)化規(guī)模產(chǎn)能，有利于該公司進(jìn)一步拓展全球市場尤其是亞洲市場，并繼續(xù)擴大MEMS業(yè)務(wù)的競爭優(yōu)勢。這條生產(chǎn)線還會帶動經(jīng)開區(qū)新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)上下游各方合力攻克自主技術(shù)難關(guān)。

“投產(chǎn)的北京8英寸MEMS國際代工線對標(biāo)瑞典Silex的設(shè)置，配置、原材料和工藝等一一對應(yīng)，確保工藝流程及產(chǎn)品生產(chǎn)的一致性?！睏钤拼赫f，瑞典Silex掌握了硅通孔、晶圓鍵合、深反應(yīng)離子刻蝕等多項在業(yè)內(nèi)具備國際領(lǐng)先競爭力的工藝技術(shù)和工藝模塊，擁有目前業(yè)界最先進(jìn)的硅通孔絕緣層工藝平臺，具有400余項工藝開發(fā)經(jīng)驗，生產(chǎn)過超過數(shù)十萬片晶圓、100多種不同的產(chǎn)品。

經(jīng)開區(qū)相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，經(jīng)開區(qū)作為全國集成電路產(chǎn)業(yè)聚集度最高、技術(shù)水平最先進(jìn)的區(qū)域之一，現(xiàn)已形成以中芯國際、北方華創(chuàng)為龍頭，包括設(shè)計、晶圓制造、封裝測試、裝備、零部件及材料等完備的集成電路產(chǎn)業(yè)鏈，一批代表企業(yè)及研究機構(gòu)承接了系列國家重大科技專項任務(wù)，在關(guān)鍵裝備及材料、先進(jìn)工藝開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化等方面取得一批代表國家最高水平的成果。

數(shù)據(jù)顯示，1至8月經(jīng)開區(qū)新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)完成產(chǎn)值同比增長11%。在發(fā)布的《北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)關(guān)于加快四大主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的實施意見》中提出，北京經(jīng)開區(qū)還將大力發(fā)展集成電路、新型顯示等新興產(chǎn)業(yè)，鞏固提升高精尖產(chǎn)業(yè)集聚效應(yīng)，加快實現(xiàn)高精尖核心技術(shù)突破，打造具有全球影響力的新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)集群。到2022年，新一代信息技術(shù)產(chǎn)值規(guī)模達(dá)到2000億元。