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“8英寸硅基壓電薄膜及壓電MEMS傳感器制造工藝平臺”項目啟動

  • 據賽微電子消息,近日,2023年度國家重點研發(fā)計劃“智能傳感器”重點專項“8英寸硅基壓電薄膜及壓電MEMS傳感器制造工藝平臺”項目啟動暨實施方案論證會在北京經濟技術開發(fā)區(qū)召開。該項目由賽微電子控股子公司賽萊克斯微系統(tǒng)科技(北京)有限公司牽頭,聯合武漢大學、蘇州大學、中國科學院空天信息創(chuàng)新研究院、中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所、武漢敏聲新技術有限公司、北京智芯微電子科技有限公司、成都纖聲科技有限公司、上海矽??萍脊煞萦邢薰镜葐挝还餐瑢嵤YY料顯示,賽萊克斯微系統(tǒng)科技(北京)有限公司專業(yè)從事半導體晶
  • 關鍵字: 傳感器  MEMS  賽微電子  

歷時 7 年研制,賽微電子 MEMS-OCS 光鏈路交換器件實現量產

  • 2023 年 12 月 24 日,北京賽微電子股份有限公司發(fā)布關于全資子公司 MEMS-OCS 啟動量產的公告,全資子公司 Silex Microsystems AB 以 MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems 的縮寫,即微電子機械系統(tǒng),簡稱為微機電系統(tǒng))工藝為某客戶制造的 OCS(Optical Circuit Switch 的縮寫,即光鏈路交換器件)完成了工藝及性能驗證(工藝開發(fā)與試產的總耗費時間超過 7 年),并于 2023 年 12 月 22 日收到該客戶發(fā)出的
  • 關鍵字: MEMS-OCS  賽微電子  

北京首條MEMS芯片生產線投產

  • 記者近日從經開區(qū)獲悉,亦莊企業(yè)賽微電子公司控股子公司投資建設的“8英寸MEMS國際代工線建設項目”正式通線投產運行,產能為1萬片/月。這也標志著北京首條商業(yè)量產、全球業(yè)界最先進的8英寸MEMS芯片生產線進入實際生產階段。據了解,該項目分期建設,最終完全達產后將形成3萬片/月的生產能力?!按蠹沂煜さ纳a線側重二維空間,不斷讓芯片變得更??;而MEMS屬于集成電路特色工藝,聚焦的是三維空間,芯片內部結構也縮小至納米量級,格外考驗芯片制造實力?!辟愇㈦娮佣麻L楊云春介紹。微機電系統(tǒng)(MEMS)是指用微機械加工技術
  • 關鍵字: MEMS  芯片  賽微電子  
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