歷時 7 年研制，賽微電子 MEMS-OCS 光鏈路交換器件實現(xiàn)量產(chǎn)

2023 年 12 月 24 日，北京賽微電子股份有限公司發(fā)布關(guān)于全資子公司 MEMS-OCS 啟動量產(chǎn)的公告，全資子公司 Silex Microsystems AB 以 MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems 的縮寫，即微電子機(jī)械系統(tǒng)，簡稱為微機(jī)電系統(tǒng)）工藝為某客戶制造的 OCS（Optical Circuit Switch 的縮寫，即光鏈路交換器件）完成了工藝及性能驗證（工藝開發(fā)與試產(chǎn)的總耗費時間超過 7 年），并于 2023 年 12 月 22 日收到該客戶發(fā)出的批量采購訂單，瑞典 Silex 開始進(jìn)行 MEMS-OCS 的商業(yè)化規(guī)模量產(chǎn)。

據(jù)介紹，該 MEMS-OCS 基于 8 英寸 MEMS 工藝和設(shè)計技術(shù)制造，結(jié)構(gòu)復(fù)雜精密，是一組由指定數(shù)量平面鏡所構(gòu)成的微鏡陣列，可用于精確調(diào)節(jié)光鏈路的折射方向，實現(xiàn)光鏈路之間的信號切換與雙向傳播，提高運(yùn)算系統(tǒng)的整體性能及穩(wěn)定性，同時降低系統(tǒng)成本與功耗，可在數(shù)據(jù)中心網(wǎng)絡(luò)、超算系統(tǒng)集群等場景中得到廣泛應(yīng)用。

IT 之家查詢發(fā)現(xiàn)，北京賽微電子股份有限公司 2023 年 12 月 29 日又發(fā)布關(guān)于控股子公司 MEMS-IMU 通過驗證并啟動試產(chǎn)的公告，控股子公司賽萊克斯微系統(tǒng)科技（北京）有限公司代工制造的某款 MEMS-IMU（Inertial Measurement Unit 的縮寫，即慣性測量單元）通過了客戶驗證，賽萊克斯北京收到該客戶發(fā)出的采購訂單，啟動首批 MEMS-IMU 8 英寸晶圓的小批量試生產(chǎn)。

據(jù)介紹，IMU 是慣性測量定位的核心，是測量物體三軸姿態(tài)角（或角速率）及加速度的關(guān)鍵裝置。MEMS-IMU 基于 MEMS 工藝技術(shù)制造，具有體積小、重量輕、能耗低等特點，以微小形態(tài)采集運(yùn)動載體的加速度與角速度等慣性信息，可實時輸出高精度的三維位置、速度、姿態(tài)等信息，并用于姿態(tài)平衡控制、導(dǎo)航定位、動作執(zhí)行等環(huán)節(jié)。由于通過半導(dǎo)體工藝進(jìn)行生產(chǎn)制造，MEMS-IMU 往往還可以集成多種 MEMS 慣性傳感器的功能，同時具備極好的環(huán)境適應(yīng)性，可被廣泛應(yīng)用于智能手機(jī)、可穿戴設(shè)備（包括 AR / VR / MR）、無人系統(tǒng)、智能駕駛、人形機(jī)器人等領(lǐng)域。