佳能發(fā)售半導(dǎo)體光刻機(jī)解決方案平臺“Lithography Plus”

佳能將于2022年9月5日起發(fā)售解決方案平臺“Lithography Plus^１”服務(wù)（以下簡稱“Lithography Plus”），該系統(tǒng)匯聚佳能在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域超過50年的技術(shù)積淀，以包括曝光工藝在內(nèi)的海量半導(dǎo)體制造數(shù)據(jù)為支持，在提升設(shè)備維護(hù)運(yùn)轉(zhuǎn)率的同時(shí)，能夠?qū)崿F(xiàn)半導(dǎo)體制造工藝的優(yōu)化。

 佳能陸續(xù)推出了具有高處理性能的KrF光刻機(jī)和支持多種設(shè)備的i線光刻機(jī)等一系列產(chǎn)品，多年來一直積極地為購置佳能光刻機(jī)的客戶提供技術(shù)支持?！?/span>Lithography Plus”通過綜合運(yùn)用技術(shù)經(jīng)驗(yàn)與數(shù)據(jù)積累，在實(shí)現(xiàn)高效維護(hù)作業(yè)的同時(shí)，提高了光刻機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)率，助力生產(chǎn)效率的提升。

1.為半導(dǎo)體光刻機(jī)帶來更高效的運(yùn)營支持

該系統(tǒng)具有光刻機(jī)狀態(tài)分析、定期維護(hù)結(jié)果分析和光刻機(jī)停止原因分析多種功能。根據(jù)這些數(shù)據(jù)，光刻機(jī)操作員可以更輕松地制定部件更換與維護(hù)方案，做好光刻機(jī)的曝光質(zhì)量控制。此外，該系統(tǒng)的“控制面板（Dash Board）”功能可實(shí)現(xiàn)工廠內(nèi)多個(gè)光刻機(jī)數(shù)據(jù)可視化，進(jìn)一步提高了操作員維護(hù)業(yè)務(wù)的效率。

2.搭載能夠有效提升半導(dǎo)體光刻機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)率的功能

通過“異常檢測”功能，可監(jiān)視光刻機(jī)的工作狀態(tài)，檢測發(fā)生的異常及征兆，防止光刻機(jī)停止工作。此外，“自動(dòng)恢復(fù)”功能也有助于故障修復(fù)作業(yè)。作業(yè)無法自動(dòng)恢復(fù)時(shí)，可以通過分析設(shè)備狀態(tài)，提供故障修復(fù)手冊，詳細(xì)介紹修復(fù)方法，來確保故障的順利修復(fù)。此外，佳能的專家工程師可以通過遠(yuǎn)程客服系統(tǒng)，遠(yuǎn)程共享和了解設(shè)備狀態(tài)，詳細(xì)解答操作員提出的問題。

3. 工法（Recipe）²優(yōu)化功能助力實(shí)現(xiàn)高成品率

該系統(tǒng)搭載的“工藝解決方案”功能匯集了佳能迄今為止積累的光刻機(jī)優(yōu)化案例，并對相關(guān)工法（Recipe）進(jìn)行了優(yōu)化。通過精細(xì)對準(zhǔn)和線寬控制設(shè)置，可提供自動(dòng)優(yōu)化后的工法（Recipe），從新型半導(dǎo)體工藝投入初期開始，為實(shí)現(xiàn)高成品率³提供支持。此外，該系統(tǒng)還具備與APC⁴等工藝設(shè)備的接口，可與生產(chǎn)管理系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)運(yùn)行。

1.產(chǎn)品詳細(xì)信息請參閱佳能官網(wǎng)：https://global.canon/ja/product/indtech/semicon/index.html

2.針對不同設(shè)備和制造流程的產(chǎn)品制造要求

3.產(chǎn)品合格率

4.Advanced Process Control : 按批次指示最佳處理?xiàng)l件的機(jī)構(gòu)。具有反映上一次加工結(jié)果和顯示上一道工藝結(jié)果預(yù)測值等的功能

〈新產(chǎn)品特征〉

l  “質(zhì)量把控（Quality Control）”功能可通過分析光刻機(jī)的狀態(tài)，進(jìn)行設(shè)備質(zhì)量管理。用戶可以利用該功能實(shí)時(shí)掌握質(zhì)量下降的征兆和對準(zhǔn)精度，提前對性能進(jìn)行維護(hù)。

l  “數(shù)據(jù)趨勢監(jiān)測（Data Trend Monitor）”功能可實(shí)現(xiàn)設(shè)備傳感器數(shù)據(jù)和測量數(shù)值的可視化，進(jìn)行經(jīng)時(shí)變化、產(chǎn)品設(shè)備依賴性及設(shè)備事件相關(guān)調(diào)查。用戶可以利用該功能輕松地判斷是否做出響應(yīng)，確定響應(yīng)方法和時(shí)間等。

l  “故障履歷”功能可以顯示設(shè)備停止原因排名，通過該功能可實(shí)時(shí)掌握需要處理的事項(xiàng)。

l  數(shù)據(jù)可視化“控制面板（Dash Board）”功能可在一個(gè)界面上顯示維護(hù)作業(yè)所需的數(shù)據(jù)，也可以根據(jù)用戶的角色和用途進(jìn)行定制。

Dash Board示意圖

l  “異常檢測”功能，可根據(jù)從半導(dǎo)體光刻機(jī)內(nèi)各種傳感器獲得的信息，監(jiān)視光刻機(jī)狀況，捕捉異常征兆，提前采取措施，防止設(shè)備停止工作。用戶可根據(jù)檢測結(jié)果采取必要的措施。

l  自動(dòng)恢復(fù)功能可在設(shè)備停止工作的狀態(tài)下，判斷是否可以恢復(fù)，如果可以恢復(fù)，設(shè)備會(huì)自動(dòng)恢復(fù)運(yùn)轉(zhuǎn)。例如，發(fā)生地震等災(zāi)害時(shí)，可使暫停工作的設(shè)備恢復(fù)到原來的工作狀態(tài)。

l  如果需要人工修復(fù)支持，該系統(tǒng)會(huì)根據(jù)設(shè)備停止?fàn)顟B(tài)顯示有效的修復(fù)步驟實(shí)施手冊，為順利修復(fù)提供支持。

部件定位手冊

l  佳能的專家工程師能夠?qū)崟r(shí)遠(yuǎn)程檢查設(shè)備狀態(tài)，并提供遠(yuǎn)程客戶服務(wù)。該系統(tǒng)搭載了從故障預(yù)防到故障發(fā)生后的處理等不同情形下的修復(fù)支持功能，以確保高水準(zhǔn)的設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)率。

遠(yuǎn)程客戶服務(wù)示意圖

l  通過對應(yīng)用于不同產(chǎn)品器件、不同工藝的產(chǎn)品制造工法（Recipe）進(jìn)行自動(dòng)優(yōu)化，能有助于縮短從產(chǎn)品啟動(dòng)制造到穩(wěn)定量產(chǎn)的周轉(zhuǎn)時(shí)間（TAT⁵）。該系統(tǒng)搭載的“工藝解決方案”功能，可通過精細(xì)對準(zhǔn)和線寬控制設(shè)置，自動(dòng)提供相關(guān)優(yōu)化工法（Recipe），從新型半導(dǎo)體制造投入初期開始，為實(shí)現(xiàn)高成品率提供支持。未來，佳能將繼續(xù)提供技術(shù)支持服務(wù)，以幫助客戶解決各種問題。

5. 周轉(zhuǎn)時(shí)間。指從試制產(chǎn)品投入到穩(wěn)定量產(chǎn)所需的時(shí)間。

l  具備與APC（Advanced Process Control）等工藝設(shè)備的接口，可與生產(chǎn)管理系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)運(yùn)行。