熱電耦加速度傳感器的頻率補(bǔ)償

熱電耦式加速度傳感器的頻響是由其內(nèi)部所用氣體的物理特性熱對(duì)流原理以及傳感器電子學(xué)所決定的由于MEMSIC在大批量生產(chǎn)中所使用的氣體的特性完全一致所以可以用一個(gè)簡(jiǎn)單的電路來(lái)對(duì)所有器件進(jìn)行相同的補(bǔ)償對(duì)于大多數(shù)應(yīng)用來(lái)說(shuō)不需要因?yàn)槠骷牟煌鴮?duì)補(bǔ)償電路進(jìn)行調(diào)整