壓力傳感器-Pressure sensor

力學傳感器的種類繁多，但常用的壓力傳感器有電阻應變片壓力傳感器、半導體應變片壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器及電容式加速度傳感器等。應用最為廣泛的是壓阻式壓力傳感器，它具有極低的價格和較高的精度以及較好的線性特性。

我國壓力傳感器市場主要是工業(yè)自動化控制領域，和汽車領域。在工控領域里目前我國絕大部份采用擴散硅壓力傳感器、應變片式壓力傳感器和濺射薄膜壓力傳感器，而國內廠家生產面廣量大的就是擴散硅壓力傳感器。在國內，西安市是我國笫二個五年計劃里重點發(fā)展壓力系列傳感器的重要城市，陜西寶雞市在省會城市西安的帶動下，由原秦嶺晶體管廠進行技術改造，和美國霍尼偉爾公司合作成立麥克傳感器公司，為我國擴散硅壓力傳感器生產開創(chuàng)了先河。但MEMS技術和前道硅片制造技術仍控制在外國廠家手里。

國內從事硅電容壓力傳感器的研究可以說是剛剛起步。盡管國內已經有單位研制出了硅電容傳感器，它的精度和靜壓特性已接近富士公司產品的平均水平，但在長期穩(wěn)定性方面，差距較大。同時，國內的電容傳感器在高差壓和微差壓規(guī)格的開發(fā)上仍有較大差距。國外壓阻式傳感器精度可以達到0.075%，而國內研制的壓阻式傳感器的精度只有0.1%。在長期穩(wěn)定性能上，國產傳感器和進口傳感器的差距更為明顯。國產產品長期穩(wěn)定性的指標為0.1%/年，比國外產品至少高2倍。另外，國產產品的溫度特性差。與國外產品相比，溫度漂移比國外產品的典型值大50%～100%。此外，國產產品的規(guī)格品種不夠全，在微差壓和高差壓、高靜壓規(guī)格方面沒有成熟的產品，不能滿足某些工藝的特殊要求。

壓力傳感器的國產化問題的關鍵主要是如何提高傳感器的長期穩(wěn)定性。傳感器的長期穩(wěn)定性和傳感器的材料選擇、結構設計、加工工藝密切相關。我國在MEMS加工工藝上還處于相對落后階段，提高工藝水平無疑是提高傳感器性能的長遠之計。

目前，國內相關高校和科研院所對壓阻式和電容式MEMS傳感器進行了大量的研究，在理論和工藝水平上都取得了一些成果。就當前工藝水平而言，如果能夠實現(xiàn)某種形式的補償或者在線的自標定方法，則有可能在短期內提高傳感器的長期穩(wěn)定性，使國產傳感器在穩(wěn)定性指標上滿足石化行業(yè)需求。

國內主要壓力傳感器生產企業(yè)有：陜西秦明電子有限公司（壓力傳感器和變送器）、昆山雙橋傳感器測控技術有限公司（壓阻壓力傳感器）、北京中科明緯科技有限公司、北京瑞利威爾科技發(fā)展有限公司、上海菱生電子儀器有限公司、北京鑫諾金傳感技術有限公司、南京高華科技有限公司、深圳維納新科光電有限公司、北京青鳥元芯微系統(tǒng)科技有限責任公司、上海朝輝壓力儀器有限公司、深圳市科普瑞傳感儀器有限公司、麥克傳感器有限公司。